Susceptor med rutenett

Semicorex Susceptor with Grid er en spesialisert komponent som brukes i den epitaksiale vekstprosessen til halvlederskiver. Dette kritiske utstyret er designet for å bære og støtte skivene under deponering av materialer i et metall-organisk kjemisk dampavsetning (MOCVD)-system. Susceptoren med rutenett spiller en sentral rolle for å sikre jevn og kontrollert vekst av epitaksiale lag på halvlederplaten.

Susceptoren med gitter er konstruert med materialer optimalisert for funksjonen. I dette tilfellet er den laget av MOCVD SiC (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide) belagt grafitt. Dette valget av materialer gir flere fordeler, inkludert motstand mot høye temperaturer, kjemisk stabilitet og utmerket varmeledningsevne. SiC-belegget på grafitten forbedrer susceptorens holdbarhet og motstand mot de tøffe forholdene som oppstår under den epitaksiale vekstprosessen.

Susceptoren med gitterstruktur fungerer som en støttemekanisme for halvlederskivene. Den er strategisk designet for å holde skivene sikkert på plass samtidig som den tillater effektiv flyt av gasser og jevn avsetning av materialer. Gittermønsteret hjelper til med å fordele varme og reaktanter jevnt over waferoverflaten, og bidrar til den nøyaktige kontrollen av epitaksial lagtykkelse og sammensetning.

Semicorex Susceptor with Grid er en kritisk komponent i produksjonsprosessen av avanserte halvlederenheter. Dens robuste konstruksjon og spesialiserte design gjør den til et viktig verktøy for å oppnå epitaksial vekst av høy kvalitet, og sikrer produksjon av halvledere med overlegen ytelse og pålitelighet.