TaC-belagte grafittdeler

Semicorex TaC-belagt grafittdeler er laget av isostatisk grafitt med høy renhet og er belagt med tantalkarbid (TaC), som gir uovertruffen motstand mot ekstreme temperaturer. De TaC-belagte grafittdelene er konstruert for å tåle de strenge forholdene som forekommer i halvlederproduksjon og er utmerket til å forbedre ulike prosesser som er avgjørende for produksjon av høykvalitets halvlederprodukter. Deres eksepsjonelle varmebestandighet sikrer pålitelighet og lang levetid, selv i de mest utfordrende termiske miljøene.

TaC-belagte grafittdeler spiller en sentral rolle i å optimalisere viktige halvlederbehandlingsteknikker, inkludert diffusjonsprosesser, oksidasjonsgløding, LPCVD og PECVD. Ved å lette presis kontroll over temperaturen og sikre jevnhet på tvers av underlag, bidrar TaC-belagte grafittdeler betydelig til å forbedre produktkvaliteten og produksjonseffektiviteten.

Semicorex TaC-belagte grafittdeler er konstruert for å møte de strenge kravene til halvlederproduksjon. Fra å forbedre diffusjonsprosesser til å forbedre kvaliteten og effektiviteten til ulike avsetningsteknikker, er TaC-belagte grafittdeler uunnværlige eiendeler i jakten på fortreffelighet innen halvlederproduksjon.