Hjem > Produkter > Halvlederkomponenter > Wafer Chuck > Al2O3 vakuum chucks
Al2O3 vakuum chucks
  • Al2O3 vakuum chucksAl2O3 vakuum chucks

Al2O3 vakuum chucks

Semicorex AL2O3 Vacuum Chucks er mikroporøs keramisk adsorpsjonsarmatur laget av svart aluminiumoksyd med en porøsitet på 35–40%, spesielt designet for wafer -håndtering i halvlederapplikasjoner. Å velge semikorex betyr å dra nytte av avansert keramisk teknologi, presisjonsteknikk og pålitelig produktkvalitet som sikrer stabil ytelse i krevende rentromsmiljøer.*

Send forespørsel

produktbeskrivelse


Semikorex al₂o₃ vakuum chucks er presisjonsmikroporøs keramisk komponent utviklet for wafer håndtering, fiksering og behandlingsapplikasjoner i halvlederindustrien. Laget av svart aluminiumoksyd med en kontrollert porøsitet på 35%-40%, er det et ekstremt stabilt, rent og pålitelig medium for vakuumadsorpsjonsprosesser. Chuck kombinerer keramisk prosessering av underlaget på en funksjonell overflate ved bruk av avanserte produksjonsteknikker for å gi jevn sugeytelse for brukerens skjøre skive under kritiske prosesstrinn.


SvartAlumina (Al₂o₃); har en unik balanse mellom mekanisk styrke, hardhet og kjemisk resistens sammenlignet med metaller og polymerer. Den mikroporøse strukturen er optimalisert for kontrollert porøsitet for å gi jevn vakuumfordeling over overflaten av vakuum chuck. Konsekvent vakuumfordeling gjennom hele overflaten av en skive chuck minimerer lokaliserte stresskonsentrasjoner, og begrenser risikoen for skiveforvrengning, kantflis og brudd. Etter hvert som fabrikasjon av wafer fortsetter å skalere opp i diameter, og geometrier og enheter blir mer skjøre, blir prosessutbytte og forbedret pålitelighet av waferhåndtering kritiske krav.


Den kontrollerte porøsiteten på 35–40% representerer et sentralt kjennetegn ved denne vakuum chuck. Et optimalisert pore -nettverk kan minimere turbulens under luftvakuering fra poreområdet, og opprettholde holdekraften mens den bevarer mekanisk styrke og holdbarhet. Derimot bruker mekaniske klemmer plater som forårsaker lokaliserte stresspunkter og arbeider mot de mekaniske egenskapene til den enkelte skive. Den mikroporøse aluminiumoksydoverflaten er derfor overlegen når det gjelder å holde skiver flat og inkongruøst under mekaniske tilnærminger. Dette gir en perfekt kandidat for høyteknologiske halvlederprosesser som drar nytte av skiven flathet og glatt hold, inkludert litografi, etsing, avsetning og metrologi.


Fra et termisk perspektiv har det svarte aluminiumoksydematerialet utmerket denne evnen til å opprettholde dimensjonsstabilitet under forhøyet temperatur. Med en lav termisk ekspansjonskoeffisient, er en vakuum chuck i stand til å holde seg nøyaktig selv under oppvarmings- og kjølesykluser, noe som er et kritisk aspekt på grunn av den raske temperatursvingningen som ofte oppstår i skiveprosesseringsmiljøer. Hardhet og slitestyrke av denne keramikken øker også levetiden til chuck, noe som reduserer hyppigheten av vedlikehold for utstyrsoperatører og senker den totale eierkostnaden.


Den kjemiske inertiteten til aluminiumoksyd keramikk er nok en betydelig eiendom. I Semiconductor Fabs må komponentene i utstyret tåle aggressive kjemikalier, rengjøringsmidler eller plasmamiljøer uten forverring. Svart aluminiumoksyd har utmerkede egenskaper for å motstå korrosjon, oksidasjon og/eller overflateforurensning, og beholder derved struktur og strukturell/fasisk stabilitet i løpet av eksiterte driftssyklusperioder. Denne egenskapen på plass betyr også at skiver ikke blir utsatt for forurensning som beskytter kretsen mot hvordan disse enhetene fungerer, og også stoler på Cleanroom -protokollene.


Ikke bare viser Al₂o₃ -vakuum chucks utmerket funksjonell ytelse, overflatebehandlingen er også tett kontrollert. Finishen opprettes ved hjelp av maskinering og poleringsprosesser med høy presisjon som gir ensartet flathet og glatthet, slik at delikate skiver kan holdes uten riper eller overflateskader. Den sterkt konstruerte porøsiteten til materialet gir en passende balanse mellom sug og overflatebeskyttelse, noe som gir tilstrekkelig holdekraft på skiven, samtidig som du unngår skade på de tynne, sprø underlagene.


Fra et operativt synspunkt er Al₂o₃ -vakuum chucks kritisk komponent i moderne halvlederproduksjon. Det letter automatisering, slik at skivene kan hentes, plasseres, justeres og behandles, pålitelig tilfredsstillende prosesskravene. Aluminas svarte farge hjelper også og gir pragmatiske fordeler ved å redusere lysrefleksjon under optiske inspeksjoner og måleprosesser, spesielt der optisk utstyr med høyt presisjon brukes.


Å kombinere avansert keramisk teknologi med en veloverveid design har gitt, i Al₂o₃-vakuum chucks, en langvarig, høyytelsesløsning for halvlederprodusenters wafer-håndtering av utfordringer. Al₂o₃ -vakuum Chucks forbedrer produktiviteten gjennom redusert skivetap, reduserer driftsstans på grunn av holdbarhet, og forbedrer prosessstabiliteten ved å tilveiebringe konsistent vakuumbeholderkraft.


Semikorex al₂o₃ vakuum chucks laget av mikroporøs svartaluminiumoksyder mer enn bare en inventar; Det er en kritisk muliggjøring av presisjonssemikonduktorproduksjon. Med sin optimaliserte porøsitet, eksepsjonelle materialegenskaper og robust ytelse, sikrer det pålitelig wafer -håndtering på tvers av de mest krevende fabrikasjonsprosessene. For produsenter som ønsker å oppnå høyere utbytte, forbedret prosesseffektivitet og overlegen utstyrsytelse, er Black Alumina Vacuum Chuck et uunnværlig valg.





Hot Tags: AL2O3 Vacuum Chucks, Kina, produsenter, leverandører, fabrikk, tilpasset, bulk, avansert, holdbar
Relatert kategori
Send forespørsel
Gi gjerne din forespørsel i skjemaet nedenfor. Vi svarer deg innen 24 timer.
Relaterte produkter
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept