Porøse aluminiumoksyd chucks

Semikorex porøse aluminiumoksyd chucks er spesialbygget for de mest delikate skiver. Deres porøse design gir forsikring om jevn vakuumfordeling over chuckoverflaten, noe som sikrer redusert lokal belastning, og hjelper til med å forhindre flis og brudd. Mekanisk klemming (fast eller på annen måte) er ikke så effektivt som det mikroporøse nettverket som holder til og med delikate skiver uten å begrense mekanisk belastning, samtidig som den fikser skiven trygt, da den mikroporøse strukturen forhindrer slitasje og gir et mildt hold. Behovet for ensartet adsorpsjon over hele chuckoverflaten er spesielt kritisk for skiver som er større og tynnere som tåler mye mindre stress under automatisert håndtering og mens du utfører trinn med høy presisjonsbehandling.

Optimalisert for 35-40% porøsitet, utvikler Chuck et nettverk av porene som er sammenkoblet som tjener til å evakuere luften mens den gir nok mekanisk styrke til å holde skiven på plass mot prosessstyrker. Dette betyr at vakuumholdskraften forblir stabil mens de beveger skivene, selv i rask rekkefølge, mens du utfører en kompleks prosesssekvens. Adsorpsjon i et mikroporøst nettverk gir mer stabilitet enn å bare skape trykkforskjeller i vakuumsystemet.

Den svarte aluminiumoksyden (Al₂o₃), i seg selv er det ultimate materialet fordi det er hardt, slitasje-resistent og kjemisk inert. Det vil ikke forringe noen betydelig overflate og påvirkes ikke gjennom gjentatte sykluser av skiven (plassering/ vakuumadsorpsjon/ kjøling). Den svartealuminiumoksyder dimensjonalt stabil, vil derfor ikke endres til tross for temperaturendringer som oppstår naturlig under prosessen (oppvarming og kjøling) eller i miljøet.

Kjemisk motstand er en annen viktig fordel med svart aluminiumoksyd. Chuck kan fungere i aggressiv rengjøring, plasma og etsningsmiljøer uten at det går ut over dens strukturelle integritet. Dets inertness forhindrer forurensning av skiveoverflaten, og sikrer høy prosessens renhet og overholdelse av renromsstandarder.

Den mikroporøse strukturen tilbyr også en støttende overflate som lindrer stresskonsentrasjon på tynne og sprø skiver. I takt med presis overflateflat og glatt overflatefinish, vil de porøse aluminiumoksyd chucks minimere forekomsten av mikrosprekker og riper som kan kompromittere integriteten til skiven på hånden.

Aluminiumoksyd keramikkHar suveren hardhet, høy mekanisk styrke, lav termisk ekspansjonskoeffisient og utmerket termisk stabilitet, noe som gjør det til et praktisk materiale for en presisjonssemikonduktorpåføring. Dets kjemiske inerthet betyr også at den tåler syrer, alkalier og plasma, mens slitasjeegenskaper sikrer holdbarhet, disse fordelene gjør aluminiumoksyd det valgte materialet for mikroporøse vakuum chucks og gir både pålitelighet og forutsigbarhet for ytelse.

Avslutningsvis er de porøse aluminiumoksyd Chucks designet for å levere uniform og overlevbar håndtering av skiven. Den mikroporøse svart aluminiumoksydstrukturen gir til og med vakuumadsorpsjon (enhetlighet) mens den minimerer mekanisk stress og reduksjon av skader på skader. Som en chuck hjelper den betydelige og optimale porøsiteten sammen med enestående termiske, mekaniske og kjemiske egenskaper, å optimalisere skivesikkerhet, verdi og pålitelighet av drift under harde fabrikasjonsforhold. Den utmerkede kombinasjonen av robust, ensartet og sikker håndtering som de porøse aluminiumoksyd chucks kan tilby produsenter er ganske enkelt sjeldne og unike.