Semicorex silisiumkarbid-chucker er spesialdesignet for fotolitografiutstyr og har flere fordeler som høy presisjon, ultralett vekt, høy stivhet, lav termisk ekspansjonskoeffisient og utmerket slitestyrke.
Semicorexsilisiumkarbid chuckerer funksjonelle adsorpsjonsenheter laget avsilisiumkarbid(SiC) keramisk materiale. De brukes hovedsakelig i halvledere, solceller, presisjonsproduksjon og andre scenarier som har ekstremt høye krav til høy temperaturbestandighet, slitestyrke, kjemisk korrosjonsbestandighet og renslighet av materialer.
SiC keramisk materiale har høy temperaturbestandighet og opprettholder sin strukturelle stabilitet i høytemperaturmiljøer. Dens utmerkede termiske ledningsevne gjør at den raskt kan spre varme som genereres under adsorpsjon, og forhindrer overoppheting av arbeidsstykket. Materialets eksepsjonelle hardhet gjør det egnet for å gripe grove eller harde arbeidsstykker. I tillegg gjør den kjemiske tregheten til SiC keramisk materiale det motstandsdyktig mot korrosjon av sterke syrer, sterke alkalier og organiske løsemidler. Den lave urenhetsutfellingsytelsen til dette materialet unngår forurensning av urenheter og forlenger den normale driftstiden til utstyret, og oppfyller de ultrarene kravene til halvlederindustrien.
Typiske egenskaper for Semicorex silisiumkarbid-chucker
1.Høy presisjon: flathet er 0,3-0,5μm.
2.Speilpolering
3. Ultralett vekt
4.Høy stivhet
5. Lav termisk ekspansjonskoeffisient
6. Utmerket slitestyrke
Applikasjonen Scenarier av silisiumkarbid chucker
Halvlederproduksjon
Safirsubstratbehandling: Safirsubstrater som brukes i LED-brikkeproduksjon krever vakuumadsorpsjon. Adsorpsjonskraften må overvinne vekten av substratet og unngå å ripe opp produktoverflaten.
Plasma-korrosjonsmotstand: I halvlederetsingsprosessen kan utmerket korrosjonsmotstand forlenge produktets levetid.
Fotovoltaisk celleproduksjon
Silisiumwaferskjæring: Adsorberer silisiumwafere for å motstå kuttevibrasjoner og redusere fragmenteringshastigheten til silisiumwafere.
Presisjonsoptikk og elektronikkproduksjon
Safirsubstratbehandling: Safirsubstrater som brukes i LED-brikkeproduksjon krever vakuumadsorpsjon. Adsorpsjonskraften må overvinne vekten av substratet og unngå å ripe opp produktoverflaten.
Silisiumkarbid-chucker har blitt viktige forbruksvarer i high-end produksjonsfeltet på grunn av deres utmerkede ytelse, og fremmer teknologisk fremgang i bransjer som halvledere, solcelleanlegg og resisjonsproduksjon.