SOI, forkortelse for Silicon-On-Insulator, er en produksjonsprosess for halvledere basert på spesielle substratmaterialer. Siden industrialiseringen på 1980-tallet har denne teknologien blitt en viktig gren av avanserte produksjonsprosesser for halvledere. SOI-prosessen kjennetegnes ved sin unike tr......
Les merDen elektrostatiske chucken utfører flere funksjoner som jevn elektrostatisk utladning, varmeledning og waferadsorpsjon og fiksering innen halvlederproduksjon. En av kjernefunksjonene til ESC er å stabilt adsorbere wafere under ekstreme driftsforhold som høyt vakuum, sterkt plasma og et bredt temper......
Les merVed produksjon av wafere med ultrahøy renhet, må wafere nå en renhetsstandard på over 99,999999999 % for å sikre de grunnleggende egenskapene til halvledere. Paradoksalt nok, for å oppnå funksjonell konstruksjon av integrerte kretser, må spesifikke urenheter introduseres lokalt på overflaten av wafe......
Les merKeramiske vakuumchucker er laget av porøse keramiske materialer med jevn porestørrelsesfordeling og intern sammenkobling. Etter sliping er overflaten glatt og delikat med god flathet. De er mye brukt i produksjonen av halvlederskiver som silisium, safir og galliumarsenid.
Les merWafervalg har en betydelig innvirkning på utvikling og produksjon av halvlederenheter. Wafervalg bør styres av kravene til spesifikke applikasjonsscenarier, og bør evalueres nøye ved å bruke følgende avgjørende beregninger.
Les merTørt etseutstyr bruker ingen våte kjemikalier for etsing. Den introduserer først og fremst et gassformig etsemiddel i kammeret gjennom en øvre elektrode med små gjennomgående hull. Det elektriske feltet som genereres av de øvre og nedre elektrodene ioniserer det gassformige etsemidlet, som deretter ......
Les mer