Halvlederproduksjon, hjørnesteinen i moderne teknologiske fremskritt, er i konstant jakt på mindre, raskere og mer effektive integrerte kretser. Denne nådeløse jakten driver behovet for stadig mer presise og sofistikerte produksjonsprosesser, der hvert trinn er avhengig av høyytelse, høykvalitets og......
Les merElektrostatiske chucker (ESC-er) har blitt uunnværlige i halvlederproduksjon og produksjon av flatskjermer, og tilbyr en skadefri, svært kontrollerbar metode for å holde og plassere delikate skiver og substrater under kritiske prosesstrinn. Denne artikkelen går i dybden med ESC-teknologien, og utfor......
Les merUtviklingen av 3C-SiC, en betydelig polytype av silisiumkarbid, gjenspeiler den kontinuerlige utviklingen av halvledermaterialvitenskap. På 1980-tallet, Nishino et al. oppnådde først en 4 μm tykk 3C-SiC-film på et silisiumsubstrat ved bruk av kjemisk dampavsetning (CVD)[1], og la grunnlaget for 3C-S......
Les mer