Poly-Si-ringer med spor

Poly-Si slissede ringer er vanligvis installert i reaksjonskammeret til avansert halvlederetseutstyr. De opererer synergistisk med silisiumdeler, inkludert silisiumfokusringer, ytre ringer av silisium og silisiumdusjhoder. Disse delene kan skape et stabilt og optimalt reaksjonsmiljø for etseprosessen, og sikre utmerketetsingpresisjon og prosesskonsistens.

Funksjoner til Semicorex poly-Si slissede ringer

1. Semicorex poly-Si slissede ringer er utstyrt med flere jevnt fordelte slisser som fungerer som gasspassasjer, som tillater jevn eksos av prosessgasser etter reaksjon.

2. Semicorex poly-Si slissede ringer er i stand til å oppnå utmerket plasmakontroll, og gir pålitelig beskyttelse for reaksjonskammeret til halvlederetseutstyr.

3. Semicorex poly-Si slissede ringer kan bidra til å justere det elektriske feltet og kammertrykket, og forhindrer dermed at ustabilitet påvirker konsistensen av etseprosessen.

Materialvalg av høy standard

Semicorex poly-Si slissede ringer er produsert av høykvalitets polykrystallinsk silisium med et renhetsnivå på over 99,9999 %, noe som gir dem overlegne egenskaper som følger.

1. Ultrahøy renhet og ekstremt lavt innhold av urenheter.

2. Eksepsjonell plasmakorrosjonsbestandighet.

3. Gunstige elektriske egenskaper, med ensartet motstand: RRG ≤ 5 %, lav res. (<0,02), middels res. (1–4), og høyoppl. (70–90).

Produksjonsevne og kvalitetskontroll

Utstyrt med avansert maskineringsutstyr og et erfarent teknisk team, kontrollerer Semicorex strengt hver produksjonsprosess og tilbyr høykvalitets og godt matchede poly-Si slissede ringer til våre verdsatte kunder. I tillegg utfører Semicorex streng kontroll over dimensjonsmåling, resistivitetstesting og visuell inspeksjon på de ferdige poly-Si-slisseringene for å sikre dem fri for defekter som spon, riper, sprekker og flekker.