Produkter

Semicorex Silicon Carbide SiC Vacuum Chucks er presisjons keramiske waferholdende komponenter konstruert for høynøyaktig halvlederbehandling, og tilbyr eksepsjonell termisk stabilitet, overlegen flathet og ultra-ren vakuumadsorpsjonsytelse. Semicorex kombinerer avansert SiC-materialteknologi, presisjonsmaskineringsevne og streng kvalitetskontroll av halvlederkvalitet for å levere svært pålitelige vakuumchuckløsninger til kunder over hele verden.*

Fremstilt av høykvalitets porøs silisiumkarbidkeramikk, Semicorex porøse SiC vakuumchucker er høypresisjons waferklemmeverktøy som er spesielt utviklet for ren, skadefri håndtering av tynne og skjøre wafere. Ved å velge Semicorex vil du nyte de optimale waferklemmings- og posisjoneringsløsningene for banebrytende halvlederproduksjonsprosesser.

Semicorex smeltede kvartsdigler med høy renhet, laget av høyrente kvartsmaterialer av halvlederkvalitet, er de kritiske beholderne i den banebrytende halvlederproduksjonen. Semicorex smeltede kvartsdigler med høy renhet er de ideelle kvartsløsningene designet spesielt for enkrystall silisiumvekstprosessen i høytemperatur enkrystallovner.

Semicorex porøs tantalkarbidkeramikk er den høyytelses porøse keramikken konstruert spesifikt i prosessen med fysisk damptransport (PVT). Dens spesielle porøse struktur og utmerkede egenskaper spiller en viktig rolle for å lette veksten av silisiumkarbidkrystaller av høy kvalitet. Ved å velge Semicorex vil du få ideelle porøse keramiske løsninger med jevn kvalitet og stabil ytelse for avansert halvlederproduksjon.

Semicorex keramiske fokusringer for halvledere er de høyytelses ringdelene laget av CVD SiC-materialer, som er spesielt utviklet for høyintensive plasmaetsingsmiljøer. Semicorex er en bransjeledende produsent av CVD SiC keramiske fokusringer for halvledere, vi ser frem til din henvendelse.

Semicorex poly-Si ytre ringer for etsing er de presisjonsbehandlede ringdelene laget av poly-silisiummaterialer. Semicorex poly-Si ytre ringer for etsing er spesielt utviklet for elektrodesystemene til avansert etseutstyr, og kan effektivt sikre stabiliteten til etseprosessen. Å velge Semicorex betyr at du får høykvalitets poly-Si ytre ringer for etsing som kan forbedre waferutbytte og driftseffektivitet.