Semicorex SiC keramiske vakuumchucker er presisjonsvakuumadsorpsjonsenheter produsert av silisiumkarbidkeramikk, som kan halvlederskiver er nøyaktig og stabilt plassert i bestemte posisjoner under prosessering og inspeksjon. Bruk av Semicorex SiC keramiske vakuumchucker kan bidra til å forbedre produksjonen av halvledere, forbedre ytelsen til halvlederenhetene og redusere de totale produksjonskostnadene.
Les merSend forespørselSemicorex grafittvarmere er presisjonskonstruerte resistive varmeelementer designet for de ultrahøye renhets- og høytemperaturkravene til halvlederovner, spesifikt optimalisert for MOCVD-, CVD- og SiC-krystallvekstprosesser. Partnerskap med Semicorex gir deg skreddersydde oppvarmingsløsninger som kombinerer overlegen isostatisk grafitt med avanserte beleggsteknologier, som sikrer bransjeledende termisk ensartethet, ytelse uten kontaminering og en betydelig lavere totalkostnad (TCO).*
Les merSend forespørselSemicorex porøse tantalkarbidringer er høyytelses ildfaste komponenter som er spesielt utviklet for den fysiske damptransporten (PVT) prosessen med silisiumkarbid (SiC) krystallvekst, med en monolittisk sintret struktur som tilbyr eksepsjonell termisk stabilitet og kontrollert gasspermeabilitet.*
Les merSend forespørselSemicorex RTA SiC wafer-bærere er de essensielle wafer-bærende verktøyene, som er spesialdesignet for den raske termiske glødingsprosessen i halvlederproduksjon. Semicorex RTA SiC wafer-bærere er de optimale løsningene for rask termisk glødingsprosess, som kan bidra til å forbedre halvlederproduksjonen og forbedre halvlederenhetens ytelse.
Les merSend forespørselSemicorex TaC-belagte grafittwafer-susceptorer er de banebrytende komponentene som typisk brukes for å stabilt støtte og posisjonere halvlederskivene under de avanserte halvlederepitaksiale prosessene. Ved å utnytte state-of-the-art produksjonsteknologier og moden produksjonserfaring, er Semicorex forpliktet til å levere spesialkonstruerte TaC-belagte grafittwafer-susceptorer med markedsledende kvalitet til våre verdsatte kunder.
Les merSend forespørselSemicorex CVD TaC Coated Susceptorer er høyytelses grafittsusceptorer med et tett TaC-belegg, designet for å levere utmerket termisk jevnhet og korrosjonsbestandighet for krevende SiC epitaksiale vekstprosesser. Semicorex kombinerer avansert CVD-beleggsteknologi med streng kvalitetskontroll for å gi langvarige susceptorer med lav kontaminering som er pålitelige av globale SiC epi-produsenter.*
Les merSend forespørsel