Produkter

Laget av høyytelses CVD SiC-materialer, Semicorex CVD SiC-fokusring for 2L10-506419-21 er den avgjørende ringdelen som er laget spesielt for TEL VIGUS RK4-utstyr som brukes i presisjons-halvlederetseprosesser. Å velge Semicorex betyr at du får de ideelle CVD SiC-løsningene for å oppnå presise og ensartede etseresultater.

Semicorex SiC-belagte planetsusceptorer er høypresisjons grafittstøttende komponenter dekket med et tett silisiumkarbidbelegg, spesielt utviklet for det avanserte MOCVD-utstyret. De kan muliggjøre jevn gassstrøm og termisk fordeling, og dermed bidra til å skape et optimalt epitaksielt miljø.

Semicorex SiC keramiske wafer-båter er høyytelses silisiumkarbidløsninger konstruert for å trygt støtte og transportere wafere under toppmoderne halvlederproduksjon. Takket være disse utmerkede fordelene er de godt egnet for nøyaktige høytemperatur-halvlederproduksjonsprosesser som oksidasjons-, diffusjons- og CVD-prosesser.

Semicorex SiC-belagte gassavledningsskiver er de uunnværlige grafittkomponentene som brukes i halvlederepitaksialutstyret, konstruert spesielt for å regulere reaksjonsgassstrømmen og fremme jevn gassfordeling i reaksjonskammeret. Velg Semicorex, velg de optimale gassavledningsløsningene for høykvalitets waferepitaksiale resultater.

Semicorex SiC Wafer Carrier er laget av silisiumkarbidkeramikk med høy renhet, gjennom 3D-printteknologi, noe som betyr at den kan oppnå høyverdige maskineringskomponenter på kort tid. Semicorex anses å levere kvalifiserte høykvalitetsprodukter til våre globale kunder.*

Semicorex CVD SiC-belagte øvre jordringer er de essensielle ringformede komponentene som er konstruert spesielt for det sofistikerte plasmaetseutstyret. Som den bransjeledende leverandøren av halvlederkomponenter, fokuserer Semicorex på å levere høykvalitets, langvarige og ultrarene CVD SiC-belagte øvre jordringer for å hjelpe våre verdsatte kunder med å forbedre driftseffektiviteten og den generelle produktkvaliteten.