SiC-belagte gassavledningsskiver

Semicorex står som det fine eksempelet på avanserte materialer av halvlederkvalitet og banebrytende produksjonsteknologier.SiC-belagtgassavledningsskiver er nøyaktig produsert av høyrent grafitt som deres matriser med et tett SiC-belegg via kjemisk dampavsetning. Gassavledningsskiver er hovedsakelig utformet for å fordele reaksjonsgass jevnt over waferoverflaten for å sikre fulle reaksjoner under behandlingen, og dermed lette dannelsen av konsistente og jevne enkrystall tynne filmer.

Fordelene med Semicorex SiC-belagte gassavledningsskiver

1. Høy materialrenhet

Semicorex opprettholder strenge produktkvalitetsstandarder med utgangspunkt i nøye materialvalg. Takket være denne strenge renhetskontrollen av råmaterialet, leverer Semicorex SiC-belagte gassavledningsskiver lavt innhold av urenheter og har enestående renslighet. Dette kan i betydelig grad forhindre at metallioner og andre forurensninger kompromitterer epitaksiale halvlederprosesser.

2. Overlegen termisk stabilitet

Komponentene som brukes i disse systemene må ha eksepsjonell termisk stabilitet fordi halvlederepitaksialt utstyr vanligvis opererer ved temperaturer over 1400°C. Denne eksepsjonelle termiske stabiliteten kan sikre at Semicorex SiC-belagte gassavledningsskiver tåler de utfordrende driftsforholdene ved høye temperaturer og kan effektivt forhindre frigjøring av urenheter forårsaket av høy temperatur under drift, noe som bidrar til å garantere kvaliteten og utbyttet til epitaksiale wafere.

3.Bemerkelsesverdig høy temperatur korrosjonsbestandighet

Ubeskyttede grafittmatriser er utsatt for korrosjon og partikkelgenerering, og det er grunnen til at gassavledningsskiver vanligvis behandles med et silisiumkarbidbelegg for å forbedre korrosjonsmotstanden. Dekket med et tett SiC-belegg,  Semicorex SiC-belagte gassavledningsskiver tilbyr utmerket oksidasjons- og kjemisk korrosjonsbestandighet, noe som gjør at de kan fungere jevnt over lang levetid selv under utfordrende høye temperaturer og korrosive driftsforhold.

4.Fleksible tilpasningsmuligheter

Semicorex er utstyrt med flere avanserte prosesseringsutstyr, for eksempel CNC-maskinutstyr, overflateslipemaskiner og ultralydboreutstyr, og tilbyr erfarne prosesseringsevner. Semicorex er i stand til å tilby fleksible tilpasningstjenester i henhold til kundetegninger og skreddersy dimensjoner, toleranser, flathet, hulldiameter og hullavstander til SiC-belagte gassavledningsskiver for å sikre sømløs kompatibilitet med kundenes epitaksiale utstyr.