SiC-belagte planetariske susceptorer

Semicorex SiC-belagte planetariske susceptorer er uunnværlig støttekomponent designet for halvlederepitaksial vekst i Aixtron G2-utstyr, der de er i stand til å sikkert støtte wafere og rotere i en planetbevegelse. På denne måten kan den nøyaktige termiske jevnheten og ensartede gassfordelingen over waferoverflaten oppnås, noe som resulterer i epitaksiallagavsetning av førsteklasses kvalitet på wafere.

Fordeler med Semicorex SiC-belagte planetsusceptorer

1. Multi-wafer lommedesign

Semicorex SiC-belagtplanetariske mottakerehar en jevn fordeling av flere waferlommer med nøyaktig kontrollerte dimensjoner. Disse waferlommene er i stand til å holde fast på wafersubstratene under den epitaksiale vekstprosessen, noe som effektivt kan minimere epitaksiale prosessvariasjoner forårsaket av uønsket bevegelse av wafersubstrater. I tillegg lar denne multi-wafer-lommedesignen flere wafer-substrater gjennomgå epitaksial avsetning samtidig i en enkelt prosesskjøring, noe som i stor grad forbedrer den totale effektiviteten til den epitaksiale vekstprosessen.

2. Optimalisert gassstrømhullsarrangement

Semicorex har et nøye konstruert sett med gassstrømningskanalerSiC-belagtplanetariske susceptorer, som foredler optimalisering av gassstrømdynamikk og termisk ensartethet over waferoverflaten gjennom hele epitaksialprosessen. Denne gjennomtenkte designen muliggjør nøyaktig kontroll over gassstrømningshastigheten og distribusjonen inne i reaksjonskammeret, noe som er avgjørende for å oppnå tynne filmer av høy kvalitet, jevn lagtykkelse og pålitelig enhetsytelse.

3. Ultra-høy renslighet

Semicorex SiC-belagte planetsusceptorer er produsert med materialer med ultrahøy renhet og ekstremt lave urenhetsnivåer, og oppfyller fullt ut de strenge renslighetskravene til halvlederfabrikasjon. De minimerer effektivt waferforurensning forårsaket av metallisk utgassing, selv under høye temperaturer og korrosive forhold som er typiske for epitaksiale prosesser.

4. Langvarig levetid

Semicorex sin kvalitetskontroll begynner med vårt strenge utvalg av råvarer. SiC-belagte planetsusceptorer er presisjonsprodusert av grafitt og silisiumkarbid av halvlederkvalitet, og tilbyr utmerket motstand mot høye temperaturer og korrosjonsmotstand, noe som gjør dem perfekt motstå de utfordrende høytemperatur, svært korrosive epitaksiale driftsforholdene. Med disse utmerkede materialegenskapene kan Semicorex SiC-belagte planetsusceptorer opprettholde sin konsistente ytelse og strukturelle integritet og unngå overflateskade og ytelsesnedgang i reaksjonskamre med høy temperatur og høy korrosjon, noe som dermed forlenger SiC-belagte planetsusceptorers levetid.