SiC-belagte platebærere for MOCVD

Semicorex SiC Coated Plate Carriers for MOCVD er en høykvalitets bærer designet for bruk i halvlederproduksjonsprosessen. Dens høye renhet, utmerkede korrosjonsbestandighet og jevne termiske profil gjør den til et utmerket valg for de som leter etter en bærer som tåler kravene til halvlederproduksjonsprosessen.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Våre SiC-belagte platebærere for MOCVD har høy renhet, noe som gjør den til et utmerket valg for de som leter etter en bærer som er svært jevn og konsistent i sine egenskaper.
Våre SiC-belagte platebærere for MOCVD laget med et høyrent silisiumkarbidbelegg på grafitt, noe som gjør det svært motstandsdyktig mot oksidasjon ved høye temperaturer på opptil 1600°C. CVD kjemiske dampavsetningsprosessen som brukes i produksjonen sikrer høy renhet og utmerket korrosjonsbestandighet. Den er svært korrosjonsbestandig, med en tett overflate og fine partikler, noe som gjør den motstandsdyktig mot syre, alkali, salt og organiske reagenser. Dens høytemperaturoksidasjonsmotstand sikrer stabilitet ved høye temperaturer opp til 1600°C.

Parametre for SiC-belagte platebærere for MOCVD

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg
SiC-CVD-egenskaper
Krystallstruktur	FCC β-fase
Tetthet	g/cm³	3.21
Hardhet	Vickers hardhet	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kjemisk renhet	%	99.99995
Varmekapasitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøy, 1300 ℃)	430
Termisk ekspansjon (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Funksjoner av SiC-belagt grafittsusceptor for MOCVD

- Unngå å flasse av og sørg for belegg på alle overflater
Høy temperatur oksidasjonsmotstand: Stabil ved høye temperaturer opp til 1600°C
Høy renhet: laget av CVD kjemisk dampavsetning under høytemperaturkloreringsforhold.
Korrosjonsbestandighet: høy hardhet, tett overflate og fine partikler.
Korrosjonsbestandighet: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
- Oppnå det beste laminære gassstrømningsmønsteret
- Garanterer jevnhet av termisk profil
- Forhindre enhver forurensning eller diffusjon av urenheter