Wafer Carriers med SiC-belegg

Semicorex Wafer Carriers med SiC Coating, en integrert del av det epitaksiale vekstsystemet, utmerker seg ved sin eksepsjonelle renhet, motstand mot ekstreme temperaturer og robuste forseglingsegenskaper, og fungerer som brett som er avgjørende for støtte og oppvarming av halvlederwafere under kritisk fase av epitaksial lagavsetning, og optimaliserer dermed den generelle ytelsen til MOCVD-prosessen. Vi i Semicorex er dedikert til å produsere og levere høyytelses wafer-bærere med SiC-belegg som kombinerer kvalitet med kostnadseffektivitet.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Semicorex Wafer Carriers med SiC-belegg viser enestående termisk stabilitet og ledningsevne, avgjørende for å opprettholde jevne temperaturer under prosesser for kjemisk dampavsetning (CVD). Dette sikrer jevn varmefordeling over underlaget, noe som er avgjørende for å oppnå høykvalitets tynnfilm- og beleggegenskaper.

Wafer Carriers med SiC-belegg er produsert i henhold til strenge standarder, og sikrer jevn tykkelse og jevn overflate. Denne presisjonen er avgjørende for å oppnå konsistente avsetningshastigheter og filmegenskaper på tvers av flere wafere.

SiC-belegget fungerer som en ugjennomtrengelig barriere, og forhindrer diffusjon av urenheter fra susceptoren inn i waferen. Dette minimerer risikoen for kontaminering, noe som er avgjørende for å produsere høyrente halvlederenheter. Holdbarheten til Semicorex Wafer Carriers med SiC-belegg reduserer frekvensen av susceptorutskifting, noe som fører til lavere vedlikeholdskostnader og minimert nedetid i halvlederproduksjonsoperasjoner.

Semicorex Wafer Carriers med SiC-belegg kan tilpasses for å møte spesifikke prosesskrav, inkludert variasjoner i størrelse, form og beleggtykkelse. Denne fleksibiliteten tillater optimalisering av susceptoren for å matche de unike kravene til forskjellige halvlederfremstillingsprosesser. Tilpasningsalternativer muliggjør utvikling av susceptordesign skreddersydd for spesialiserte applikasjoner, som høyvolumsproduksjon eller forskning og utvikling, og sikrer optimal ytelse for spesifikke brukstilfeller.