Semicorex er din partner for forbedring av halvlederbehandling. Våre silisiumkarbidbelegg er tette, høytemperatur- og kjemikaliebestandige, som ofte brukes i hele syklusen av halvlederproduksjon, inkludert halvlederwafer og wafer-behandling og halvlederfabrikasjon.
Høyrente SiC-keramiske komponenter er avgjørende for prosesser i halvlederen. Vårt tilbud spenner fra forbruksdeler til utstyr for prosessering av wafer, slik som silisiumkarbid-waferbåt, cantilever-årer, rør osv. for Epitaxy eller MOCVD.
Fordeler for halvlederprosesser
Tynnfilmavsetningsfasene som epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprosesser som etsing eller ioneimplantat må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring. Semicorex leverer høyrent silisiumkarbid (SiC) konstruksjon gir overlegen varmebestandighet og holdbar kjemisk motstand, jevn termisk ensartethet for konsistent epi-lagtykkelse og motstand.
Kammerlokk →
Kammerlokk som brukes i prosessering av krystallvekst og waferhåndtering må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring.
Cantilever Paddle →
Cantilever Paddle er en avgjørende komponent som brukes i halvlederproduksjonsprosesser, spesielt i diffusjons- eller LPCVD-ovner under prosesser som diffusjon og RTP.
Prosessrør →
Process Tube er en avgjørende komponent, spesielt designet i ulike halvlederbehandlingsapplikasjoner som RTP, diffusjon.
Wafer-båter →
Wafer Boat brukes i halvlederbehandling, den har blitt omhyggelig designet for å sikre at de delikate wafere holdes trygge under de kritiske stadiene av produksjonen.
Innløpsringer →
SiC-belagt gassinntaksring av MOCVD-utstyr Sammensatt vekst har høy varme- og korrosjonsbestandighet, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flate keramiske vakuumwafer-chucker er høyrent SiC-belagt ved bruk i waferhåndteringsprosessen.
Semicorex har også keramiske produkter i Alumina (Al2O3), Silisium Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic, etc.
Semicorex SiC keramisk plate tilbyr uovertruffen ytelse i miljøer som krever slitestyrke, korrosjonsbestandighet og høy temperaturstabilitet. Dette produktet er designet for bruk som foringsplater og støttedeler på tvers av en rekke krevende bruksområder.
Les merSend forespørselSemicorex AlN Ceramic Disc skiller seg ut som et materiale med eksepsjonell kapasitet, verdsatt for sin unike kombinasjon av termiske, mekaniske og elektriske egenskaper. Hos Semicorex er vi i forkant når det gjelder produksjon av AlN keramiske plater, og sikrer at disse komponentene oppfyller de strenge kravene til moderne teknologi og industrielle applikasjoner.**
Les merSend forespørselSi3N4 Sleeve fra Semicorex er et allsidig og høyytelsesmateriale som tilbyr en unik kombinasjon av lav tetthet, overlegen hardhet, utmerket slitestyrke og eksepsjonell termisk og kjemisk stabilitet.**
Les merSend forespørselSemicorex Porous Ceramic Vacuum Chucks primære funksjon ligger i dens evne til å gi jevn luft- og vannpermeabilitet, en funksjon som sikrer jevn fordeling av stress og robust adhesjon av silisiumskiver. Denne egenskapen er avgjørende under slipeprosessen, siden den forhindrer at waferen glir, og dermed opprettholder integriteten til operasjonen.**
Les merSend forespørselSemicorex Alumina Tube er en sentral komponent i en rekke industrielle applikasjoner, kjent for sin evne til å tåle tøffe miljøer og høye temperaturer.**
Les merSend forespørselPBN Ceramic Disc av Semicorex er syntetisert gjennom en intrikat kjemisk dampavsetning (CVD) prosess, ved å bruke bortriklorid (BCl3) og ammoniakk (NH3) ved høye temperaturer og lave trykk. Denne syntesemetoden resulterer i et materiale med eksepsjonell renhet og strukturell integritet, noe som gjør det uunnværlig for en rekke bruksområder innen halvlederindustrien.**
Les merSend forespørsel