Semicorex er din partner for forbedring av halvlederbehandling. Våre silisiumkarbidbelegg er tette, høytemperatur- og kjemikaliebestandige, som ofte brukes i hele syklusen av halvlederproduksjon, inkludert halvlederwafer og wafer-behandling og halvlederfabrikasjon.
Høyrente SiC-keramiske komponenter er avgjørende for prosesser i halvlederen. Vårt tilbud spenner fra forbruksdeler til utstyr for prosessering av wafer, slik som silisiumkarbid-waferbåt, cantilever-årer, rør osv. for Epitaxy eller MOCVD.
Fordeler for halvlederprosesser
Tynnfilmavsetningsfasene som epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprosesser som etsing eller ioneimplantat må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring. Semicorex leverer høyrent silisiumkarbid (SiC) konstruksjon gir overlegen varmebestandighet og holdbar kjemisk motstand, jevn termisk ensartethet for konsistent epi-lagtykkelse og motstand.
Kammerlokk →
Kammerlokk som brukes i prosessering av krystallvekst og waferhåndtering må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring.
Cantilever Paddle →
Cantilever Paddle er en avgjørende komponent som brukes i halvlederproduksjonsprosesser, spesielt i diffusjons- eller LPCVD-ovner under prosesser som diffusjon og RTP.
Prosessrør →
Process Tube er en avgjørende komponent, spesielt designet i ulike halvlederbehandlingsapplikasjoner som RTP, diffusjon.
Wafer-båter →
Wafer Boat brukes i halvlederbehandling, den har blitt omhyggelig designet for å sikre at de delikate wafere holdes trygge under de kritiske stadiene av produksjonen.
Innløpsringer →
SiC-belagt gassinntaksring av MOCVD-utstyr Sammensatt vekst har høy varme- og korrosjonsbestandighet, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flate keramiske vakuumwafer-chucker er høyrent SiC-belagt ved bruk i waferhåndteringsprosessen.
Semicorex har også keramiske produkter i Alumina (Al2O3), Silisium Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic, etc.
Semicorex SiC tetningsdel tilbyr en blanding av eksepsjonell hardhet, kjemisk motstand og termisk stabilitet, noe som gjør den viktig for krevende industrielle applikasjoner. De avanserte egenskapene til SiC Sealing Part sikrer holdbarhet, pålitelighet og effektivitet, og forbedrer dermed ytelsen og levetiden til komponentene.**
Les merSend forespørselSemicorex SiC Boat er avansert komponent omhyggelig designet for halvlederproduksjon, spesielt i diffusjons- og termiske prosesser. Med vår urokkelige forpliktelse til å tilby produkter av høy kvalitet til konkurransedyktige priser, er vi forberedt på å være din langsiktige partner i Kina.*
Les merSend forespørselSemicorex SiC Wafer Boats er avanserte komponenter som er omhyggelig designet for halvlederproduksjon, spesielt i diffusjons- og termiske prosesser. Med vår standhaftige forpliktelse til å tilby produkter av topp kvalitet til konkurransedyktige priser, er vi klare til å bli din langsiktige partner i Kina.*
Les merSend forespørselSemicorex Wafer Boat er en kritisk komponent i halvlederproduksjonsprosessen, spesielt designet for bruk i diffusjonsprosessen, hvor den spiller en viktig rolle i dannelsen av svært integrerte kretser. Med vår standhaftige forpliktelse til å tilby produkter av topp kvalitet til konkurransedyktige priser, er vi klare til å bli din langsiktige partner i Kina.*
Les merSend forespørselSemicorex Ceramic Electrostatic Chuck (ESC) er et spesialisert verktøy som er omhyggelig laget for å møte de strenge kravene til halvlederproduksjon. Med vår standhaftige forpliktelse til å tilby produkter av topp kvalitet til konkurransedyktige priser, er vi klare til å bli din langsiktige partner i Kina.*
Les merSend forespørselSemicorex Electrostatic Chuck (ESC) er en avansert komponent som brukes i halvlederproduksjon, designet for å holde halvlederskiver på en sikker måte under ulike behandlingstrinn. Med vår forpliktelse til å levere produkter av topp kvalitet til konkurransedyktige priser, er vi klar til å være din langsiktige partner i Kina.*
Les merSend forespørsel