Silisiumepitaksiseptorer

Du kan være trygg på å kjøpe Silicon Epitaxy Susceptors fra vår fabrikk. Semicorex sin Silicon Epitaxy Susceptor er et høykvalitets produkt med høy renhet som brukes i halvlederindustrien for epitaksial vekst av wafer-brikken. Produktet vårt har en overlegen beleggteknologi som sikrer at belegget er tilstede på alle overflater, og forhindrer avskalling. Produktet er stabilt ved høye temperaturer opp til 1600°C, noe som gjør det egnet for bruk i ekstreme miljøer.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Våre silisiumepitaksiseptorer er laget av CVD kjemisk dampavsetning under høytemperaturkloreringsforhold, noe som sikrer høy renhet. Produktets overflate er tett, med fine partikler og høy hardhet, noe som gjør det korrosjonsbestandig mot syre, alkali, salt og organiske reagenser.
Produktet vårt er designet for å oppnå det beste laminære gassstrømningsmønsteret, og garanterer jevnhet i termisk profil. Våre silisiumepitaksiseptorer forhindrer enhver forurensning eller diffusjon av urenheter under den epitaksiale vekstprosessen, og sikrer resultater av høy kvalitet.
Hos Semicorex fokuserer vi på å tilby høykvalitets, kostnadseffektive produkter til våre kunder. Våre silisiumepitaksiseptorer har en prisfordel og eksporteres til mange europeiske og amerikanske markeder. Vi tar sikte på å være din langsiktige partner, og levere konsekvente kvalitetsprodukter og eksepsjonell kundeservice.

Parametre for silisiumepitaksiseptorer

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg
SiC-CVD-egenskaper
Krystallstruktur	FCC β-fase
Tetthet	g/cm³	3.21
Hardhet	Vickers hardhet	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kjemisk renhet	%	99.99995
Varmekapasitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøy, 1300 ℃)	430
Termisk ekspansjon (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Parametre for silisiumepitaksiseptorer

- Unngå å flasse av og sørg for belegg på alle overflater
Høy temperatur oksidasjonsmotstand: Stabil ved høye temperaturer opp til 1600°C
Høy renhet: laget av CVD kjemisk dampavsetning under høytemperaturkloreringsforhold.
Korrosjonsbestandighet: høy hardhet, tett overflate og fine partikler.
Korrosjonsbestandighet: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
- Oppnå det beste laminære gassstrømningsmønsteret
- Garanterer jevnhet av termisk profil
- Forhindre enhver forurensning eller diffusjon av urenheter