CVD SiC-belagt grafittsusceptor

Semicorex CVD SiC Coated Graphite Susceptor, er et spesialisert verktøy som brukes i håndtering og prosessering av halvlederwafere. Susceptoren spiller en avgjørende rolle for å lette veksten av tynne filmer, epitaksiale lag og andre belegg på underlag med presis kontroll over temperatur og materialegenskaper. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Den CVD SiC-belagte grafittsusceptoren er en omhyggelig konstruert komponent designet for å skape et optimalt termisk miljø for kontrollert avsetning av tynne filmer og belegg på halvlederskiver eller andre substratmaterialer. Det er et kritisk element i en CVD-reaktor, og fungerer som både en varmekilde og en plattform for å holde og plassere substratene under avsetningsprosessen.

Fordeler:

Presis avsetning: Den CVD SiC-belagte grafittsusceptoren muliggjør kontrollert og presis avsetning av tynne filmer og belegg, noe som fører til høykvalitets og reproduserbare resultater.

Redusert forurensning: SiC-belegget minimerer risikoen for kontaminering fra selve susceptoren, og sikrer renheten til de avsatte materialene.

Lang levetid og holdbarhet: SiC-belegget forbedrer susceptorens motstand mot oksidasjon og kjemiske reaksjoner, og bidrar til dens levetid og pålitelighet ved langvarig bruk.