MOCVD Planet Susceptor for Semiconductor

Semicorex er et pålitelig navn i halvlederindustrien, og tilbyr høykvalitets MOCVD Planet Susceptor for Semiconductor. Produktet vårt er designet for å møte de spesifikke behovene til halvlederprodusenter som leter etter en bærer som kan levere utmerket ytelse, stabilitet og holdbarhet. Kontakt oss i dag for å lære mer om produktet vårt og hvordan vi kan hjelpe deg med dine behov for halvlederproduksjon.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Vår MOCVD Planet Susceptor for Semiconductor har høytemperaturoksidasjonsmotstand, noe som sikrer stabiliteten ved høye temperaturer opp til 1600°C. Det er også svært rent, laget av CVD kjemisk dampavsetning under høytemperaturkloreringsforhold, noe som sikrer enhetlighet og konsistens til produktet, jevn termisk profil og laminært gassstrømningsmønster.
Kontakt oss i dag for å lære mer om vår MOCVD Planet Susceptor for Semiconductor.

Parametre for MOCVD Planet Susceptor for Semiconductor

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg
SiC-CVD-egenskaper
Krystallstruktur	FCC β-fase
Tetthet	g/cm³	3.21
Hardhet	Vickers hardhet	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kjemisk renhet	%	99.99995
Varmekapasitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøy, 1300 ℃)	430
Termisk ekspansjon (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Funksjoner av SiC-belagt grafittsusceptor for MOCVD

- Unngå å flasse av og sørg for belegg på alle overflater
Høy temperatur oksidasjonsmotstand: Stabil ved høye temperaturer opp til 1600°C
Høy renhet: laget av CVD kjemisk dampavsetning under høytemperaturkloreringsforhold.
Korrosjonsbestandighet: høy hardhet, tett overflate og fine partikler.
Korrosjonsbestandighet: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
- Oppnå det beste laminære gassstrømningsmønsteret
- Garanterer jevnhet av termisk profil
- Forhindre enhver forurensning eller diffusjon av urenheter