MOCVD satellittholderplate

Semicorex MOCVD Satellite Holder Plate er en enestående bærer designet for bruk i halvlederindustrien. Dens høye renhet, utmerkede korrosjonsbestandighet og jevne termiske profil gjør den til et utmerket valg for de som leter etter en bærer som tåler kravene til halvlederproduksjonsprosessen. Vi er forpliktet til å gi våre kunder høykvalitetsprodukter som oppfyller deres spesifikke krav. Kontakt oss i dag for å lære mer om vår MOCVD satellittholderplate og hvordan vi kan hjelpe deg med dine behov for halvlederproduksjon.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Semicorex MOCVD Satellite Holder Plate er en høykvalitets bærer designet for bruk i halvlederindustrien. Produktet vårt er belagt med en høyrent silisiumkarbid på grafitt, noe som gjør det svært motstandsdyktig mot oksidasjon ved høye temperaturer på opptil 1600°C. Den kjemiske CVD-dampavsetningsprosessen som brukes i produksjonen sikrer høy renhet og utmerket korrosjonsbestandighet, noe som gjør den ideell for bruk i renromsmiljøer.
Funksjonene til vår MOCVD satellittholderplate er imponerende. Dens tette overflate og fine partikler forbedrer korrosjonsbestandigheten, noe som gjør den motstandsdyktig mot syre, alkali, salt og organiske reagenser. Denne bæreren er svært stabil, selv i ekstreme miljøer, noe som gjør den til et utmerket valg for de som leter etter en bærer som tåler kravene fra halvlederindustrien.

Parametre for MOCVD satellittholderplate

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg
SiC-CVD-egenskaper
Krystallstruktur	FCC β-fase
Tetthet	g/cm³	3.21
Hardhet	Vickers hardhet	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kjemisk renhet	%	99.99995
Varmekapasitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøy, 1300 ℃)	430
Termisk ekspansjon (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Funksjoner av SiC-belagt grafittsusceptor for MOCVD

- Unngå å flasse av og sørg for belegg på alle overflater
Høy temperatur oksidasjonsmotstand: Stabil ved høye temperaturer opp til 1600°C
Høy renhet: laget av CVD kjemisk dampavsetning under høytemperaturkloreringsforhold.
Korrosjonsbestandighet: høy hardhet, tett overflate og fine partikler.
Korrosjonsbestandighet: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
- Oppnå det beste laminære gassstrømningsmønsteret
- Garanterer jevnhet av termisk profil
- Forhindre enhver forurensning eller diffusjon av urenheter