Produkter

Semicorex RTP SIC beleggplater er høyytelsesskivebærere konstruert for bruk i krevende raske termiske prosesseringsmiljøer. Semicorx leverer overlegen termisk stabilitet, holdbarhet og forurensningskontroll støttet av strenge kvalitetsstandarder og presisjonsproduksjon.

Semicorex RTP Ring er en SiC-belagt grafittring designet for høyytelsesapplikasjoner i Rapid Thermal Processing (RTP)-systemer. Velg Semicorex for vår avanserte materialteknologi, som sikrer overlegen holdbarhet, presisjon og pålitelighet i halvlederproduksjon.*

Semicorex sin RTP Graphite Carrier Plate er den perfekte løsningen for prosessering av halvlederskiver, inkludert epitaksial vekst og prosessering av waferhåndtering. Produktet vårt er designet for å tilby overlegen varmebestandighet og termisk ensartethet, og sikrer at epitaksi-susceptorene blir utsatt for avsetningsmiljøet, med høy varme- og korrosjonsbestandighet.

Semicorex RTP SiC Coating Carrier tilbyr overlegen varmebestandighet og termisk ensartethet, noe som gjør den til den perfekte løsningen for behandling av halvlederskiver. Med sin høykvalitets SiC-belagte grafitt, er dette produktet designet for å tåle de tøffeste avsetningsmiljøene for epitaksial vekst. Den høye varmeledningsevnen og utmerkede varmefordelingsegenskapene sikrer pålitelig ytelse for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.

Semicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier er konstruert for å tåle de tøffeste forholdene i avsetningsmiljøet. Med sin høye varme- og korrosjonsbestandighet er dette produktet designet for å gi optimal ytelse for epitaksial vekst. Den SiC-belagte bæreren har høy varmeledningsevne og utmerkede varmefordelingsegenskaper, noe som sikrer pålitelig ytelse for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.

Semicorex SiC Graphite RTP Carrier Plate for MOCVD tilbyr overlegen varmebestandighet og termisk ensartethet, noe som gjør den til den perfekte løsningen for behandling av halvlederskiver. Med en SiC-belagt grafitt av høy kvalitet, er dette produktet konstruert for å tåle de tøffeste avsetningsmiljøene for epitaksial vekst. Den høye varmeledningsevnen og utmerkede varmefordelingsegenskapene sikrer pålitelig ytelse for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.