Produkter

Semicorex SiC-belagte grafittwafer-susceptorer er de uunnværlige grafittwafer-bærerne dekket med et tett og ensartet CVD SiC-belegg, som er konstruert spesifikt for high-end halvleder MOCVD epitaksial vekstsystemer. Å velge Semicorex betyr at du kan oppnå kostnadseffektive priser, overlegen produktkvalitet og en pålitelig serviceopplevelse.

Semicorex SiC-belagte planetsusceptorer er høypresisjons grafittstøttende komponenter dekket med et tett silisiumkarbidbelegg, spesielt utviklet for det avanserte MOCVD-utstyret. De kan muliggjøre jevn gassstrøm og termisk fordeling, og dermed bidra til å skape et optimalt epitaksielt miljø.

Semicorex Quartz Susceptor Support er designet spesielt for halvlederepitaksiale ovner. Dens høyrente materialer og presise struktur muliggjør nøyaktig løfting og posisjoneringskontroll av brett eller prøveholdere i reaksjonskammeret. Semicorex kan tilby tilpassede kvartsløsninger med høy renhet, som sikrer langsiktig ytelsesstabilitet for hver støttekomponent i høyvakuum, høytemperatur og svært korrosive halvlederprosessmiljøer gjennom avansert prosesseringsteknologi og streng kvalitetskontroll.*

Semicorex 1x2" grafittwafer-susceptorer er de høyytende bærekomponentene spesielt utviklet for 2-tommers wafere, som er godt egnet for den epitaksiale prosessen til halvlederwafere. Velg Semicorex for bransjeledende materialrenhet, presisjonsteknikk og uovertruffen pålitelighet i krevende vekstmiljøer.

Semicorex TaC-belagte grafittwafer-susceptorer er de banebrytende komponentene som typisk brukes for å stabilt støtte og posisjonere halvlederskivene under de avanserte halvlederepitaksiale prosessene. Ved å utnytte state-of-the-art produksjonsteknologier og moden produksjonserfaring, er Semicorex forpliktet til å levere spesialkonstruerte TaC-belagte grafittwafer-susceptorer med markedsledende kvalitet til våre verdsatte kunder.

Semicorex CVD TaC Coated Susceptorer er høyytelses grafittsusceptorer med et tett TaC-belegg, designet for å levere utmerket termisk jevnhet og korrosjonsbestandighet for krevende SiC epitaksiale vekstprosesser. Semicorex kombinerer avansert CVD-beleggsteknologi med streng kvalitetskontroll for å gi langvarige susceptorer med lav kontaminering som er pålitelige av globale SiC epi-produsenter.*