Batch wafer båt

Semicorex tilbyr waferbåter, pidestaller og tilpassede waferbærere for både vertikale/søyle og horisontale konfigurasjoner. Vi har vært produsent og leverandør av silisiumkarbidbeleggfilm i mange år. Vår Batch Wafer Boat har en god prisfordel og dekker det meste av det europeiske og amerikanske markedet. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Semicorex Batch Wafer Boat er laget av høykvalitets silisiumkarbidkeramisk materiale for overlegen kjemisk motstand og termisk stabilitet.
Vår Batch Wafer Boat har en jevn overflatefinish og gir utmerket waferstøtte og beskyttelse under bearbeiding. SiC-belegget sikrer jevnhet og stabilitet under bearbeiding, og beskytter skivene mot forurensning og skade. Med utmerket termisk ledningsevne og overlegen mekanisk styrke, gir våre waferholdere konsistente og pålitelige resultater.
Vårt team av eksperter er forpliktet til å gi den beste kvaliteten og servicen. Vi tilbyr tilpassede design for å møte dine spesifikke krav, og våre batch wafer-båter støttes av vårt kvalitetssikringsprogram.

Parametre for Batch Wafer Boat

Tekniske egenskaper
Indeks	Enhet	Verdi
Materialnavn		Reaksjonssintret silisiumkarbid	Trykkløs sintret silisiumkarbid	Omkrystallisert silisiumkarbid
Komposisjon		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkdensitet	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Bøyestyrke	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20 °C) 90-100 (1400 °C)
Komprimerende styrke	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Hardhet	Knapp	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Termisk ledningsevne	W/m.k	95	120	23
Koeffisient for termisk ekspansjon	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Spesifikk varme	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Maks temperatur i luft	℃	1200	1500	1600
Elastisk modul	Gpa	360	410	240

Forskjellen mellom SSiC og RBSiC:

1. Sintringsprosessen er annerledes. RBSiC skal infiltrere fritt Si inn i silisiumkarbid ved lav temperatur, SSiC dannes ved naturlig krymping ved 2100 grader.

2. SSiC har jevnere overflate, høyere tetthet og høyere styrke, for noen tetninger med strengere overflatekrav vil SSiC være bedre.

3. Ulik brukt tid under forskjellig PH og temperatur, SSiC er lengre enn RBSiC

Funksjoner av Batch Wafer Boat

- Høy styrke (Mohs hardhet 9,5, nest etter diamant)
- Korrosjonsbestandighet mot syrer, alkalier, salter og organiske løsemidler
- Høy varmeledningsevne, plasmamotstand, lang levetid
- Halvledere