Karbidbelagt reaktorrørsusceptor

Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor er et førsteklasses grafittprodukt belagt med høyrent SiC, designet spesielt for LPE-prosesser. Med utmerket varme- og korrosjonsbestandighet er dette produktet perfekt for bruk i halvlederproduksjonsapplikasjoner.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Hvis du leter etter en høyytelses grafittsusceptor for epitaksial lagdannelse på halvlederskiver, er Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor et utmerket valg. Silisiumkarbidbelegget gir overlegen varmefordeling og termisk ledningsevne, og sikrer eksepsjonell ytelse i selv de mest krevende høytemperaturmiljøer.

Hos Semicorex fokuserer vi på å tilby høykvalitets, kostnadseffektiv karbidbelagt reaktorrørsusceptor, vi prioriterer kundetilfredshet og gir kostnadseffektive løsninger. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner, levere produkter av høy kvalitet og eksepsjonell kundeservice.

Parametre for karbidbelagt reaktorrørsusceptor

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg
SiC-CVD-egenskaper
Krystallstruktur	FCC β-fase
Tetthet	g/cm³	3.21
Hardhet	Vickers hardhet	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kjemisk renhet	%	99.99995
Varmekapasitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøy, 1300 ℃)	430
Termisk ekspansjon (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Egenskaper til karbidbelagt reaktorrørsusceptor

- Både grafittsubstratet og silisiumkarbidlaget har god tetthet og kan spille en god beskyttende rolle i høytemperatur og korrosive arbeidsmiljøer.

- Silisiumkarbidbelagt susceptor som brukes til enkeltkrystallvekst har en meget høy overflateplanhet.

- Reduser forskjellen i termisk ekspansjonskoeffisient mellom grafittsubstratet og silisiumkarbidlaget, forbedrer effektivt bindingsstyrken for å forhindre sprekkdannelse og delaminering.

- Både grafittsubstratet og silisiumkarbidlaget har høy varmeledningsevne, og utmerkede varmefordelingsegenskaper.

- Høyt smeltepunkt, høy temperatur oksidasjonsmotstand, korrosjonsbestandighet.