Silisiumkarbid SiC-belagt tønnesusceptor

Semicorex er en ledende uavhengig eid produsent av Silisiumkarbid SiC Coated Barrel Susceptor, Precision Machined High Purity Graphite med fokus på silisiumkarbidbelagt grafitt, silisiumkarbidkeramikk, MOCVP-områdene innen halvlederproduksjon. Vår Silicon Carbide SiC Coated Barrel Susceptor har en god prisfordel og dekker mange av de europeiske og amerikanske markedene. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

SemicorexSilisiumkarbid SiC-belagt tønnesusceptorer et grafittprodukt belagt med høyrenset SiC, som har høy varme- og korrosjonsbestandighet. Den er egnet for LPE. DeSilisiumkarbidSiC Coated Barrel Susceptor brukt i prosesser som danner det epiksiale laget på halvlederskiver, som har høy termisk ledningsevne og utmerkede varmefordelingsegenskaper.

Kontakt oss i dag for å lære mer om vårSilisiumkarbidSiC Coated Barrel Susceptor.

Parametre forSilisiumkarbid SiC-belagtTønnemottaker

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg
SiC-CVD-egenskaper
Krystallstruktur	FCC β-fase
Tetthet	g/cm³	3.21
Hardhet	Vickers hardhet	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kjemisk renhet	%	99.99995
Varmekapasitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøy, 1300 ℃)	430
Termisk ekspansjon (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Funksjoner avSilisiumkarbid SiC-belagtTønnemottaker

- Både grafittsubstratet og silisiumkarbidlaget har god tetthet og kan spille en god beskyttende rolle i høytemperatur og korrosive arbeidsmiljøer.

- Silisiumkarbidbelagt susceptor som brukes til enkeltkrystallvekst har en meget høy overflateplanhet.

- Reduser forskjellen i termisk ekspansjonskoeffisient mellom grafittsubstratet og silisiumkarbidlaget, forbedrer effektivt bindingsstyrken for å forhindre sprekkdannelse og delaminering.

- Både grafittsubstratet og silisiumkarbidlaget har høy varmeledningsevne, og utmerkede varmefordelingsegenskaper.

- Høyt smeltepunkt, høy temperatur oksidasjonsmotstand, korrosjonsbestandighet.