SiC-belagt epitaksial reaktorløp

Semicorex SiC Coated Epitaxial Reactor Barrel er et grafittprodukt av topp kvalitet belagt med høyrent SiC. Dens utmerkede tetthet og termiske ledningsevne gjør den til et ideelt valg for bruk i LPE-prosesser, og gir eksepsjonell varmefordeling og beskyttelse i korrosive og høytemperaturmiljøer.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Når det kommer til halvlederproduksjon, er Semicorex SiC Coated Epitaxial Reactor Barrel det beste valget for overlegen ytelse og eksepsjonell varmefordeling. Belagt med høyrent SiC, gir dette grafittproduktet enestående korrosjons- og varmebestandighet, og sikrer pålitelige og konsistente resultater hver gang.

Hos Semicorex fokuserer vi på å tilby høykvalitets, kostnadseffektive produkter til våre kunder. Vår SiC Coated Epitaxial Reactor Barrel har en prisfordel og eksporteres til mange europeiske og amerikanske markeder. Vi tar sikte på å være din langsiktige partner, og levere konsekvente kvalitetsprodukter og eksepsjonell kundeservice.

Parametre for SiC-belagt epitaksial reaktorrør

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg
SiC-CVD-egenskaper
Krystallstruktur	FCC β-fase
Tetthet	g/cm³	3.21
Hardhet	Vickers hardhet	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kjemisk renhet	%	99.99995
Varmekapasitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøy, 1300 ℃)	430
Termisk ekspansjon (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Egenskaper til SiC-belagt epitaksialreaktorrør

- Både grafittsubstratet og silisiumkarbidlaget har god tetthet og kan spille en god beskyttende rolle i høytemperatur og korrosive arbeidsmiljøer.

- Silisiumkarbidbelagt susceptor som brukes til enkeltkrystallvekst har en meget høy overflateplanhet.

- Reduser forskjellen i termisk ekspansjonskoeffisient mellom grafittsubstratet og silisiumkarbidlaget, forbedrer effektivt bindingsstyrken for å forhindre sprekkdannelse og delaminering.

- Både grafittsubstratet og silisiumkarbidlaget har høy varmeledningsevne, og utmerkede varmefordelingsegenskaper.

- Høyt smeltepunkt, høy temperatur oksidasjonsmotstand, korrosjonsbestandighet.