Semicorex SiC-belegg EPI 3 1/4" Barrel Susceptor gir utmerket termisk stabilitet og motstand mot kjemisk angrep, mens grafittsubstratet tilbyr overlegne varmeoverføringsegenskaper.
Semicorex EPI 3 1/4" tønnesusceptor er et grafittprodukt av høy kvalitet belagt med høyrent SiC, som tilbyr eksepsjonell varme- og korrosjonsbestandighet. Den er spesielt utviklet for LPE-applikasjoner i halvlederproduksjonsindustrien.
Våre EPI 3 1/4" Barrel Susceptors er designet for bruk i en rekke bransjer, inkludert romfart, bilindustri og elektronikk. Vi er forpliktet til å tilby produkter av høy kvalitet til en konkurransedyktig pris, og vi er dedikert til å bygge langsiktig relasjoner med våre kunder Kontakt oss i dag for å lære mer om vårSiC-belagtgrafittdigler og hvordan de kan være til nytte for virksomheten din.
Parametre for EPI 3 1/4" Barrel Susceptor
Hovedspesifikasjoner forCVD-SICBelegg |
||
SiC-CVD-egenskaper |
||
Krystallstruktur |
FCC β-fase |
|
Tetthet |
g/cm³ |
3.21 |
Hardhet |
Vickers hardhet |
2500 |
Kornstørrelse |
μm |
2~10 |
Kjemisk renhet |
% |
99.99995 |
Varmekapasitet |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Feleksural styrke |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Youngs modul |
Gpa (4pt bøy, 1300 ℃) |
430 |
Termisk ekspansjon (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Termisk ledningsevne |
(W/mK) |
300 |
Egenskaper til EPI 3 1/4" fatbeholder
SiC belegggir utmerket termisk stabilitet og motstand mot kjemisk angrep
Grafittsubstrat gir overlegne varmeoverføringsegenskaper
Høy tetthet og hardhet
Høy kjemisk renhet
Høy varmekapasitet
Høy sublimasjonstemperatur
Høy bøyestyrke
Høy Youngs modul
Lav termisk ekspansjonskoeffisient
Høy varmeledningsevne