SiC Coated Barrel Susceptor

Semicorex er en storskala produsent og leverandør av SiC Coated Barrel Susceptor i Kina. Vi fokuserer på halvlederindustrier som silisiumkarbidlag og epitaksihalvleder. Våre produkter har en god prisfordel og dekker mange av de europeiske og amerikanske markedene. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

SemicorexSiC belagtTønnemottakerer en høyrent SiC-belagt grafittbærer, som i prosessen brukes til å vokse det epitaksiale laget på waferbrikken, som er egnet for mange epitaksiale reaktorer. Den har høy varme- og korrosjonsbestandighet, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
VårSiC belagtBarrel Susceptor er også motstandsdyktig mot høytemperaturoksidasjon og korrosjon, noe som gjør det til et pålitelig og holdbart produkt. Det høye smeltepunktet sikrer at den tåler høytemperaturmiljøet som kreves for effektiv halvlederproduksjon.
Kontakt oss i dag for å lære mer om vårSiC belagtTønnemottaker

Parametre forSiC belagtTønnemottaker

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg
SiC-CVD-egenskaper
Krystallstruktur	FCC β-fase
Tetthet	g/cm³	3.21
Hardhet	Vickers hardhet	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kjemisk renhet	%	99.99995
Varmekapasitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøy, 1300 ℃)	430
Termisk ekspansjon (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300