Keramisk oblatbåt

Semicorex tilbyr waferbåter, pidestaller og tilpassede waferbærere for både vertikale/søyle og horisontale konfigurasjoner. Vi har vært produsent og leverandør av silisiumkarbidbeleggfilm i mange år. Vår Ceramic Wafer Boat har en god prisfordel og dekker det meste av det europeiske og amerikanske markedet. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Vi introduserer vår høykvalitets silisiumkarbid keramiske waferbåt, designet for å gi en pålitelig løsning for waferbehandling i ulike bransjer. Disse keramiske sokkelene er produsert ved hjelp av keramikk med høy renhet, som gir utmerket motstand mot termisk sjokk, slitasje og kjemisk korrosjon, noe som gjør dem ideelle for tøffe miljøer for waferbehandling.
Vår keramiske wafer-båt er også svært tilpasset, og vi kan samarbeide med deg for å lage tilpassede sokler for å møte dine unike spesifikasjoner. Vi er stolte av vår evne til å levere pålitelige produkter av høy kvalitet som oppfyller kravene til våre kunder. Vår keramiske wafer-båt er laget for å vare og tilby lang levetid, noe som sikrer at du får mest mulig ut av investeringen din.
Bestill nå og opplev fordelene med vår høykvalitets keramiske wafer-båt i waferbehandlingsoperasjonene dine.

Parametre for keramisk wafer-båt

Tekniske egenskaper
Indeks	Enhet	Verdi
Materialnavn		Reaksjonssintret silisiumkarbid	Trykkløs sintret silisiumkarbid	Omkrystallisert silisiumkarbid
Komposisjon		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkdensitet	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Bøyestyrke	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20 °C) 90-100 (1400 °C)
Komprimerende styrke	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Hardhet	Knapp	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Termisk ledningsevne	W/m.k	95	120	23
Koeffisient for termisk ekspansjon	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Spesifikk varme	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Maks temperatur i luft	℃	1200	1500	1600
Elastisk modul	Gpa	360	410	240

Forskjellen mellom SSiC og RBSiC:

1. Sintringsprosessen er annerledes. RBSiC skal infiltrere fritt Si inn i silisiumkarbid ved lav temperatur, SSiC dannes ved naturlig krymping ved 2100 grader.

2. SSiC har jevnere overflate, høyere tetthet og høyere styrke, for noen tetninger med strengere overflatekrav vil SSiC være bedre.

3. Ulik brukt tid under forskjellig PH og temperatur, SSiC er lengre enn RBSiC

Funksjoner av keramisk wafer Boat

Laget ved bruk av aluminiumoksydkeramikk med høy renhet for utmerket motstand mot termisk sjokk, slitasje og kjemisk korrosjon
Designet for optimal støtte og stabilitet under bearbeiding av wafer, og minimerer risikoen for skade eller forurensning
Tilgjengelig i en rekke størrelser for å imøtekomme forskjellige waferdiametre og -tykkelser
Kan tilpasses for å møte unike spesifikasjoner
Bygget for å vare og gi lang levetid