> Produkter > Keramikk > Silisiumkarbid (SiC) > Gassinntaksring for halvlederutstyr

Produkter

Nye Produkter

Gassinntaksring for halvlederutstyr

Semicorex er en storskala produsent og leverandør av silisiumkarbidbelagt grafittsusceptor i Kina. Vi fokuserer på halvlederindustrier som silisiumkarbidlag og epitaksihalvleder. Vår gassinntaksring for halvlederutstyr har en god prisfordel og dekker mange av de europeiske og amerikanske markedene. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Semicorex gassinntaksring for halvlederutstyr er SiC-belagt, som er et tett, slitesterkt silisiumkarbidbelegg (SiC). Den har høye korrosjons- og varmebestandige egenskaper samt utmerket varmeledningsevne. Vi påfører SiC i tynne lag på grafitten ved å bruke prosessen med kjemisk dampavsetning (CVD).

Vår gassinntaksring for halvlederutstyr er designet for å oppnå det beste laminære gassstrømningsmønsteret, og sikrer jevn termisk profil. Dette bidrar til å forhindre forurensning eller diffusjon av urenheter, og sikrer epitaksial vekst av høy kvalitet på waferbrikken.

Kontakt oss i dag for å lære mer om vår gassinntaksring for halvlederutstyr.

Parametre for gassinntaksring for halvlederutstyr

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg
SiC-CVD-egenskaper
Krystallstruktur	FCC β-fase
Tetthet	g/cm³	3.21
Hardhet	Vickers hardhet	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kjemisk renhet	%	99.99995
Varmekapasitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøy, 1300 ℃)	430
Termisk ekspansjon (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300