Horisontale kammerovnsiske båter

Semicorex horisontale kammerovn Sic-båter er en meget konstruert del som holder og bærer skiver eller underlag mens de blir utsatt for termisk prosessering med høy temperatur i en horisontal kammerovn. Wafer-båten er laget av SIC bundet med høy renhet silisiumkarbid (sic), som gir den unike kombinasjonen av styrke, termisk stabilitet og høy kjemisk motstand som kreves i halvleder, fotovoltaiske og avanserte keramikkprosesser. Skivebåten fungerer også som en stiv struktur for å holde skiver i posisjon, den dimensjonale stabiliteten og presisjonen til skivene vil ikke gå tapt ved utvidet eksponering for de ekstreme prosessstemperaturene.

De overordnede egenskapene til silisiumkarbid gir det horisontale kammerovnen SIC -båter en overlegen ytelsesfordel sammenlignet med typiske materialer for skivebåter som kvarts eller aluminiumoksyd. De tåler bedre sjelden oppvarmings- og kjølesykluser med kort varighet på grunn av deres høye smeltepunkt, termisk sjokkmotstand og mekanisk styrke, uavhengig av hastigheten på oppvarming og kjøling eller ytterpunkter i den termiske syklusen. Siden en horisontal ovn helt er avhengig av konsistensen av skivernes posisjoner og eksponering av prosessforhold, gir riktig innretting av skiver for konsistent prosessutbytte og repeterbarhet. Den lave koeffisienten for termisk ekspansjon betyr at båten ikke vil forvrenge seg over livet og gi beholdt form og avstand på skivene.

Den finkornede, tette strukturen til rekrystallisert SIC gir bemerkelsesverdig motstand mot oksidasjon, korrosjon og forurensning ved prosessgasser og biprodukter. Dette gjør båten spesielt fordelaktig for prosesser i aggressive atmosfærer som diffusjon, oksidasjon, LPCVD og annealing. Den høye kjemiske inertheten til SIC unngår reaksjoner med skiveoverflatene, og bevarer dermed produktrenhet og minimerer partikulærgenerering i ovnen. SIC -båter kan hjelpe produsenter som trenger å oppfylle strenge krav til renslighet, og gi renere prosesseringsmiljøer og forbedret skiveekvalitet.

Disse båtene kan produseres med forskjellige komplekse geometrier og delvispesifikke dimensjoner med presisjonsmaskinering og formingsteknikker. Designene bruker vanligvis flere parallelle spor/spor for å holde skivene sikkert i en horisontal orientering og utsetter hele skivenes overflate for termiske forhold. Spor-til-sporet avstand og vinkler kan også optimaliseres for å passe til skiver av andre diametre, for eksempel 150 mm, 200 mm eller 300 mm, og direkte luftstrøm under prosesseringseffekter mens du fremdeles oppnår temperaturenhet for prosessering.

Ikke bare kan de horisontale kammerovnenes SIC-båter utformes i standardavganger, men de kan utformes for å jobbe med automatiserte wafer-lastere, noe som resulterer i en sømløs integrasjon i moderne produksjonslinjer med høy gjennomstrømning. Den robuste designen vil også gjøre båtene mindre sannsynlig å spikke eller bryte under håndteringen og redusere driftsstans og kostnader for utskiftninger.

Den termiske konduktiviteten tilSilisiumkarbidRepresenterer en annen viktig fordel som letter effektiv varmeoverføring mellom skivene og ovnsmiljøet. Fordelen er at produsentene er i stand til å oppnå mer ensartede behandlingsforhold og forkorte syklustider, noe som kan øke produksjonseffektiviteten. SIC -båtene gir konsistente og repeterbare resultater enten de brukes til produksjon av halvleder, fabrikasjon av solcellecelle eller annen avansert materialbehandling ved forhøyede temperaturer.

Oppsummert er de horisontale kammerovnsic-båtene en nøkkelkomponent for produsenter som ønsker å produsere skiver med en høy ytelse, langvarig og forurensningsresistente wafer-bærere. Den har en mekanisk styrke, termisk stabilitet og kjemisk inertness som er ulik i horisontale ovner applikasjoner. Ved å velge silisiumkarbidbåter kan operatører utnytte bedre prosesskontroll, høyere utbytte og minimere driftsavbrudd på grunn av vedlikehold. Totalt sett sørger det for mer effektive, kostnadseffektive produksjoner.