Horisontale silisiumkarbidbåter

Semicorex horisontalsilisiumkarbidbåterer integrert formet ved hjelp av 3D-utskriftsteknologi og deretter fremstilt gjennom høytemperatursintring. Disse komponentene er spesialbygget for å passe forskjellige høytemperatur-horisontale ovnsstørrelser, og brukes mye for å sikre fastholding av wafer i kritiske høytemperatur-halvlederproduksjonsprosesser, inkludert diffusjon, oksidasjon og kjemisk dampavsetning.

Fysisk-kjemiske egenskaper av silisiumkarbid

Fordelene med Semicorex horisontal silisiumkarbidbåts

1. Stabil støtte og posisjon

Den enestående materialstyrken og hardheten gir Semicorex horisontale silisiumkarbidbåter utmerket støttekapasitet, som gjør dem i stand til å bære flere wafere stabilt samtidig. Gjennom presisjonsspaltebearbeiding kan Semicorex horisontale silisiumkarbidbåter feste og sikkert holde halvlederskiver. Den jevnt fordelte sporstrukturen sikrer at wafere opprettholder en fast posisjon gjennom hele prosesseringssyklusen, og garanterer dermed konsistensen og presisjonen til halvlederproduksjonsprosesser.

2.Kompatibilitet med komplekse driftsforhold

Takket være deres overlegne motstand mot høye temperaturer og korrosjonsmotstand, er Semicorex horisontale silisiumkarbidbåter i stand til å motstå strenge driftsmiljøer, som høytemperaturatmosfære av oksygen, nitrogen eller lavkonsentrasjonshydrogenklorid. Disse eksepsjonelle materialegenskapene kan effektivt forhindre korrosjon og skade forårsaket av høytemperaturkorrosive gasser, noe som i stor grad forlenger båtenes driftslevetid.

3. Eksepsjonell renslighet

Forskjellig fra konvensjonelle silisiumkarbidbelagte grafittbåter, er Semicorex horisontale silisiumkarbidbåter laget av halvlederkvalitet med høy renhetsilisiumkarbid(99,999 %) med ultralavt innhold av urenheter. Dette førsteklasses materialvalget eliminerer risikoen for utgassing av forurensninger eller avskalling av belegg, selv når de utsettes for høye temperaturer og tøffe korrosive miljøer. I tillegg er hver av våre silisiumkarbidbåter utsatt for strenge ultralydrenseprosesser før vakuumpakking, noe som garanterer samsvar med renslighetsstandardene som kreves av avanserte halvlederproduksjonsprosesser.