MOCVD innløpspakningsring

Semicorex silisiumkarbidbelegg MOCVD-innløpstetningsring er en høyrent SiC-belagt grafitt som brukes i deponeringsprosessen for waferhåndtering. SiC-belagt MOCVD-innløpstetningsring har høy varme- og korrosjonsbestandighet, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.

Hos Semicorex fokuserer vi på å tilby høykvalitets, kostnadseffektiv MOCVD-innløpsforseglingsring, vi prioriterer kundetilfredshet og tilbyr kostnadseffektive løsninger. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner, levere produkter av høy kvalitet og eksepsjonell kundeservice.

Parametre for MOCVD-innløpets tetningsring

Egenskaper til MOCVD-innløpets tetningsring

SiC-belagt grafitt med høy renhet

Overlegen varmebestandighet og termisk jevnhet

Fin SiC-krystallbelagt for en jevn overflate

Høy holdbarhet mot kjemisk rengjøring

Materialet er utformet slik at det ikke oppstår sprekker og delaminering.