Plasmabehandlingsfokusring

Semicorex Plasma-behandlingsfokusring er spesialdesignet for å møte de høye kravene til plasmaetsingsbehandling i halvlederindustrien. Våre avanserte silisiumkarbidbelagte komponenter med høy renhet er bygget for å tåle ekstreme miljøer og er egnet for bruk i ulike applikasjoner, inkludert silisiumkarbidlag og epitaksiske halvledere.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Vår plasmabehandlingsfokusring er svært stabil for RTA, RTP eller tøff kjemisk rengjøring, noe som gjør dem til et ideelt valg for bruk i plasma-etsing (eller tørt etsing) kamre. Fokusringene eller kantringene våre er designet for å forbedre etsningens jevnhet rundt waferkanten eller omkretsen, og er konstruert for å minimere forurensning og uplanlagt vedlikehold.

Vår SiC Coating er et tett, slitesterkt silisiumkarbidbelegg med høye korrosjons- og varmebestandige egenskaper samt utmerket varmeledningsevne. Vi påfører SiC i tynne lag på grafitten ved å bruke prosessen med kjemisk dampavsetning (CVD). Dette sikrer at våre SiC Focus Rings har overlegen kvalitet og holdbarhet, noe som gjør dem til et pålitelig valg for dine behov for plasmaetsing.

Kontakt oss i dag for å lære mer om vår fokusring for plasmabehandling.

Parametre for plasmabehandlingsfokusring

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg
SiC-CVD-egenskaper
Krystallstruktur	FCC β-fase
Tetthet	g/cm³	3.21
Hardhet	Vickers hardhet	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kjemisk renhet	%	99.99995
Varmekapasitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøy, 1300 ℃)	430
Termisk ekspansjon (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Funksjoner ved plasmabehandlingsfokusring

- CVD silisiumkarbidbelegg for å forbedre levetiden.

- Termisk isolasjon laget av høyytelses renset stivt karbon.

- Karbon/karbon komposittvarmer og plate. - Både grafittsubstratet og silisiumkarbidlaget har høy varmeledningsevne, og utmerkede varmefordelingsegenskaper.

- Grafitt- og SiC-belegg med høy renhet for pinhole-motstand og lengre levetid