Prosessrør for diffusjonsovner

Semicorex prosessrør for diffusjonsovner er vanligvis laget av høyrent SiC med CVD SiC-belegg. Disse materialene er valgt for deres utmerkede termiske stabilitet og motstand mot korrosive gasser og høye temperaturer.

Semicorex prosessrør for diffusjonsovner er sylindrisk i form, med lukket ende og åpen ende. Den settes inn i diffusjonsovnen og danner et forseglet kammer hvor diffusjonsprosessen finner sted. Røret er nøye utformet for å forhindre lekkasje av gasser og opprettholde en kontrollert atmosfære i ovnen.

et prosessrør for diffusjonsovner spiller en avgjørende rolle i fremstillingen av halvlederenheter. Det gir et kontrollert miljø for diffusjonsprosesser, og sikrer enhetlige dopingprofiler og presis kontroll over prosessparametere. Bruken av materialer med høy renhet og nøye designhensyn bidrar til å opprettholde integriteten til prosessrøret og sikre produksjon av høykvalitets halvlederskiver.