Robot End Effector

Semicorex er en ledende uavhengig eid produsent av silisiumkarbidbelagt grafitt, presisjonsmaskinert høyrenhetsgrafitt med fokus på silisiumkarbidbelagt grafitt, silisiumkarbidkeramikk, MOCVP-områdene innen halvlederproduksjon. Vår Robot End Effector har en god prisfordel og dekker mange av de europeiske og amerikanske markedene. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Robot End Effector er robotens hånd som flytter halvlederskiver mellom posisjoner i waferbehandlingsutstyr og bærere. Robot End Effector må være dimensjonalt presis og termisk stabil, samtidig som den har en jevn, slitebestandig overflate for å trygt håndtere wafere uten å skade enheter eller produsere partikkelforurensning. Vårt høyrent silisiumkarbidbelegg (SiC) Robot End Effector gir overlegen varmebestandighet, jevn termisk ensartethet for konsistent epi-lagtykkelse og motstand, og holdbar kjemisk motstand.

Parametre for Robot End Effector

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg
SiC-CVD-egenskaper
Krystallstruktur	FCC β-fase
Tetthet	g/cm³	3.21
Hardhet	Vickers hardhet	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kjemisk renhet	%	99.99995
Varmekapasitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøy, 1300 ℃)	430
Termisk ekspansjon (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300