Halvleder Wafer Chuck

Semicorex avanserte silisiumkarbidbelagte komponenter med høy renhet er bygget for å tåle ekstreme miljøer i prosess for håndtering av wafer. Vår Semiconductor Wafer Chuck har en god prisfordel og dekker mange av de europeiske og amerikanske markedene. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Semicorex ultra-flat Semiconductor Wafer Chuck er høyrent SiC-belagt som brukes i waferhåndteringsprosessen. Semiconductor Wafer Chuck fra MOCVD-utstyr Sammensatt vekst har høy varme- og korrosjonsbestandighet, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer, og forbedrer ytelsesstyringen for halvlederwafer-behandling. Konfigurasjoner med lav overflatekontakt minimerer risikoen for partikler på baksiden for sensitive applikasjoner.

Parametre for halvleder wafer Chuck

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg
SiC-CVD-egenskaper
Krystallstruktur	FCC β-fase
Tetthet	g/cm³	3.21
Hardhet	Vickers hardhet	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kjemisk renhet	%	99.99995
Varmekapasitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøy, 1300 ℃)	430
Termisk ekspansjon (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300