SiC akselhylse

Semicorex leverer keramikk av halvlederkvalitet for OEM-halvfabrikasjonsverktøyene og waferhåndteringskomponentene dine. Vi har vært produsent og leverandør av silisiumkarbidbeleggfilm i mange år. Vår SiC Axle Sleeve har en god prisfordel og dekker det meste av det europeiske og amerikanske markedet. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Vår SiC-akselhylse har god motstand mot korrosjon og utmerket motstand mot høye temperaturer og termisk sjokk. En høy elastisitetsmodul resulterer videre i utmerket dimensjonsstabilitet. I tillegg er det null porøsitet og lav poretetthet til det keramiske materialet.

Vi kan behandle alle typer SiC Axle Sleeve til kundenes krav.

Parametre for SiC akselhylse

Tekniske egenskaper
Indeks	Enhet	Verdi
Materialnavn		Reaksjonssintret silisiumkarbid	Trykkløs sintret silisiumkarbid	Omkrystallisert silisiumkarbid
Komposisjon		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkdensitet	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Bøyestyrke	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20 °C) 90-100 (1400 °C)
Komprimerende styrke	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Hardhet	Knapp	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Termisk ledningsevne	W/m.k	95	120	23
Koeffisient for termisk ekspansjon	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Spesifikk varme	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Maks temperatur i luft	℃	1200	1500	1600
Elastisk modul	Gpa	360	410	240

Semicorex produserte SiC akselhylse i tre former, reaksjonssintret silisiumkarbid (RBSiC), trykkløst sintret silisiumkarbid (SSiC) og rekrystall silisiumkarbid (R-SiC).

Forskjellen mellom SSiC og RBSiC:

1. Sintringsprosessen er annerledes. RBSiC skal infiltrere fritt Si inn i silisiumkarbid ved lav temperatur, SSiC dannes ved naturlig krymping ved 2100 grader.

2. SSiC har jevnere overflate, høyere tetthet og høyere styrke, for noen tetninger med strengere overflatekrav vil SSiC være bedre.

3. Ulik brukt tid under forskjellig PH og temperatur, SSiC er lengre enn RBSiC

Egenskaper til SiC akselhylse

- Høy styrke (Mohs hardhet 9,5, nest etter diamant)

- Korrosjonsbestandighet mot syrer, alkalier, salter og organiske løsemidler

- Høy varmeledningsevne, plasmamotstand, lang levetid

- Halvledere

Tilgjengelige former for silisiumkarbidkeramikk:

● Keramisk stang / keramisk pinne / keramisk stempel

● Keramisk rør / keramisk bøssing / keramisk hylse

● Keramisk ring / keramisk skive / keramisk avstandsstykke

● Keramisk plate