SiC-båt for waferhåndtering

Laget av et silisiumkarbid av eksepsjonell renhet, Semicorex SiC Boat for Wafer Handling har en konstruksjon som inkluderer presisjonsspor for å sikre wafere, og dempe enhver bevegelse under operasjonelle prosedyrer. Valget av silisiumkarbid som materiale sikrer ikke bare hardhet og spenst, men også evnen til å tåle høye temperaturer og eksponering for kjemikalier. Dette gjør SiC Boat for Wafer Handling til en sentral komponent i en rekke halvlederproduksjonsstadier, slik som dyrking av krystaller, diffusjon, ioneimplantasjon og etseprosesser.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Semicorex SiC Boat for Wafer Handling, kjennetegnet ved sitt enestående forhold mellom styrke og vekt og overlegne varmeledende egenskaper, gjennomgår en ytterligere forbedringsprosess gjennom et CVD SiC-belegg. Dette ekstra belegglaget forsterker dets motstand mot påkjenningene i prosessmiljøer og beskytter det mot både kjemisk nedbrytning og termiske svingninger, noe som forlenger levetiden betydelig og sikrer jevn ytelse under strenge driftskrav.

I termiske operasjoner som gløding eller diffusjon er SiC Boat for Wafer Handling medvirkende til å oppnå en jevn temperaturfordeling på waferens overflate. Dens utmerkede varmeledningsevne letter effektiv varmespredning, reduserer termiske forskjeller og fremmer jevnhet i prosessresultater.

Semicorex SiC Boat for Wafer Handling er verdsatt for sin pålitelighet og enestående ytelse, og oppfyller de strenge kravene til moderne halvlederproduksjon. Med sin tilpasningsevne for både batch- og individuelle wafer-prosesser, står SiC Boat for Wafer Handling som et essensielt verktøy for halvlederproduksjonsanlegg dedikert til å oppnå overlegne produktstandarder og maksimert utbytte. SiC-båten for Wafer Handling sin rolle er avgjørende for å opprettholde både integriteten og påliteligheten til skivene, og finner omfattende bruk på tvers av halvlederproduksjonsutstyr, industrielle enheter og som reservedeler.