Sic båtholdere

Semikorex SIC-båtholdere er presisjonsstøtteenheter designet for å holde skivebåter under høye temperaturprosesser i halvlederproduksjon. Disse holderne er laget av silisiumkarbid med høy renhet (SIC), og viser utmerket termisk stabilitet, kjemisk motstand og mekanisk stivhet, essensielle trekk når de brukes i prosesser som diffusjon, oksidasjon og epitaksial vekst.

I krevende halvlederproduksjonsmiljøer er det avgjørende å beskytte skiveintegritet og minimere forurensning. SIC båtholdere tilbyr en solid, inert plattform som tåler ekstreme ovnsmiljøer, samtidig som vi opprettholder integriteten uten deformasjon og uten frigjøring av forurensninger. Deres kjemiske inerthet tillater deres bruk med reaktive prosessgasser, mens deres termiske transmittans fremmer til og med oppvarming av overflaten på skivene for jevn prosessering.

Hver SIC -båtholder er produsert med en høy toleranse for dimensjons nøyaktighet, noe som gjør dem enkle å imøtekomme og tilpasse seg alle skivebåttype og automatiserte lastkonfigurasjoner. Deres stive struktur skaper ikke bare sterk, stabil og tilstrekkelig støtte for skivebåtene, men reduserer også sjansen mikrovibrasjoner eller posisjonsskift kan ha på skivene. I tillegg har silisiumkarbid utmerket slitestyrke og kan håndtere gjentatt varmesykling for å gi et langt levetid som resulterer i lite driftsstans og utskifting av hetteglassdeler.

De unike attributtene til silisiumkarbid kan gi ekstra fordeler med hensyn til prosessrens. I motsetning til metaller eller keramiske materialer i lavere kvalitet, flasker ikke SiC, utgas eller kjemisk nedbryter under ekstreme temperaturer eller i plasma. Dette gjør SIC -båtholdere til et flott verktøy for produsenter som prøver å begrense forurensning av renrom for avanserte halvlederknuter som krever høy utbytte og renhet.

Semikorex SIC -båtholdere produseres ved hjelp av unike støping og sintringsprosesser som sikrer ensartet mikrostruktur og mekanisk ytelse mellom partier og på tvers av flere båtholdere. For eksempel kan holderform eller sporkonfigurasjon tilpasses, samt monteringstypen.

Uansett om det brukes i vertikale ovner eller horisontale reaktorer, vil tilpasse semikorex SIC-båtholdere oppfylle toleransene for neste generasjons halvleder-manufacturing. Hvis du velger Semicorex -produkter, vil du vite at du jobbet med en leverandør som er kunnskapsrik, dedikert til materiell dyktighet, og prøver å kontinuerlig innovere keramiske komponenter med hensyn til pålitelighet og levering.