SiC båt

Semicorex SiC-båter er omhyggelig laget av høyrent SiC-keramikk, et materiale som er kjent for sin uovertrufne termiske stabilitet, eksepsjonelle mekaniske styrke og urokkelige kjemiske treghet. Disse egenskapene gjør den til det perfekte valget for de strenge forholdene ved halvlederproduksjon.

SiC-båter har uovertruffen mekanisk styrke og holdbarhet, på grunn av materialets hardhet og eksepsjonelle motstandsdyktighet mot slitasje. Dette gjør dem i stand til å tåle den krevende naturen til høykapasitets halvlederproduksjonsmiljøer uten å gi etter for gradvis slitasje. I motsetning til andre materialer, opprettholder SiC sin strukturelle integritet over tid, noe som reduserer behovet for hyppige utskiftninger betydelig og minimerer nedetid i produksjonsoperasjoner – noe som til slutt fører til betydelige kostnadsbesparelser for halvlederprodusenter.

Den kjemiske tregheten til SiC stivner ytterligere dens egnethet for halvlederprosesser ved å gjøre den svært motstandsdyktig mot kjemisk angrep fra reaktive gasser og ofte brukte materialer som klor og fluor. Denne robuste motstanden sikrer at SiC-båter ikke forurenser wafere under behandlingen, og opprettholder dermed renheten og kvaliteten til halvlederenhetene som produseres. For prosesser som krever et enda høyere nivå av kjemisk motstand, kan SiC-båter belegges med et ekstra lag med SiC, som gir en ekstra barriere mot kjemisk angrep og hever båtens overflatefinish for å redusere risikoen for partikkelforurensning.

Den høye renheten til SiC-keramikk som brukes i disse båtene er kritisk, siden halvlederproduksjon krever materialer med minimale urenheter. Selv spormengder av forurensninger kan svekke de elektriske egenskapene til wafere og resultere i defekter i sluttenhetene. SiC-båter er konstruert av SiC-keramikk med ultrahøy renhet for å sikre at de ikke introduserer urenheter i prosessmiljøet, selv under de høye temperaturene og reaktive forholdene som er typiske for halvlederproduksjon. Denne renheten styrker påliteligheten til SiC-båter for kritiske prosesstrinn.

Kompatibiliteten til SiC-båter med forskjellig halvlederutstyr er avgjørende. SiCs allsidighet gjør at den kan maskineres nøyaktig for å passe til de spesifikke dimensjonene og konfigurasjonene som kreves av forskjellige typer halvlederovner og reaktorer, noe som gjør dem egnet for et bredt spekter av bruksområder, fra småskala forsknings- og utviklingsoperasjoner til storskala produksjonslinjer. I tillegg bidrar materialets eksepsjonelle termiske ledningsevne og varmeavledningsegenskaper til mer effektiv temperaturkontroll under prosessering, noe som ytterligere forbedrer ytelsen og utbyttet til halvlederenheter.