SiC båter

SemicorexSiCbåter er presisjonskonstruerte keramiske waferholdere designet spesielt for diffusjonsprosessen i halvleder- og fotovoltaisk produksjon. Disse høyytelseskomponentene spiller en kritisk rolle for å muliggjøre produksjon av elektroniske enheter av høy kvalitet ved å holde silisiumskiver sikkert under den termiske diffusjonen av dopingmidler. SiC-båter er mye brukt på grunn av deres overlegne materialegenskaper, inkludert høy renhet, utmerket termisk stabilitet og motstand mot kjemisk korrosjon, noe som gjør dem uunnværlige i høye temperaturer og kjemisk krevende miljøer.

Applikasjoner i diffusjonsprosesser

SiC-båter brukes først og fremst i diffusjonsprosessen, et kritisk trinn i fremstilling av halvledere og solceller. Denne prosessen involverer innføring av dopingsmidler som fosfor eller bor i silisiumskiver for å modifisere deres elektriske egenskaper. Diffusjon krever presis termisk styring og et kjemisk stabilt miljø for å sikre jevn dopingmiddelfordeling og konsistent waferkvalitet. Høytemperaturegenskapene og holdbarheten til SiC-båter gjør dem ideelle for denne applikasjonen, spesielt i avanserte solcelleteknologier som N-type TOPCon (Tunnel Oxide Passivated Contact) og andre neste generasjons fotovoltaiske celler.

Nøkkelfunksjoner til SiC-båter

Høy renhet:

SiC-båter er produsert med silisiumkarbidkeramikk med opptil 86,5 % renhet. Dette sikrer minimal forurensning av wafere under diffusjonsprosessen, og opprettholder de høye standardene som kreves for materialer av halvlederkvalitet.

Termisk stabilitet:

SilisiumkarbidDen eksepsjonelle termiske ledningsevnen og motstanden mot termisk sjokk gjør at båtene tåler raske temperaturendringer og opprettholder strukturell integritet ved temperaturer over 1000°C. Denne stabiliteten sikrer pålitelig ytelse over flere diffusjonssykluser.

Kjemisk motstand:

SiC-båter viser utmerket motstand mot kjemisk korrosjon, selv når de utsettes for reaktive dopinggasser som fosfin og bortriklorid. Denne egenskapen sikrer langsiktig holdbarhet og reduserer risikoen for forurensning.

Presisjonsteknikk:

Utformingen av SiC-båter legger vekt på høy presisjon for å romme wafere med forskjellige diametre sikkert. Avanserte produksjonsteknikker sikrer enhetlighet og kompatibilitet med automatiserte håndteringssystemer, og forbedrer driftseffektiviteten i produksjonslinjer med høy gjennomstrømning.

Holdbarhet og lang levetid:

SiC-båter har eksepsjonell slitestyrke, noe som forlenger levetiden betydelig sammenlignet med andre materialer. Denne holdbarheten betyr kostnadsbesparelser for produsenter ved å redusere hyppigheten av utskiftninger.

Tilpasningsalternativer:

For å møte de ulike kravene til produsenter av halvledere og solceller, kan SiC-båter tilpasses når det gjelder dimensjoner, waferkapasitet og designspesifikasjoner. Denne fleksibiliteten sikrer kompatibilitet med spesifikke diffusjonssystemer og prosesser.

Fordeler med SiC-båter i diffusjonsprosesser

SiC-båter gir klare fordeler i forhold til tradisjonelle materialer som kvarts eller grafitt:

Redusert forurensningsrisiko:

Den høye renheten avsilisiumkarbidminimerer frigjøringen av urenheter som kan kompromittere waferkvaliteten under diffusjonsprosessen.

Forbedret prosesseffektivitet:

Den termiske ledningsevnen til SiC sikrer jevn varmefordeling på tvers av alle wafere, forbedrer diffusjonskonsistensen og reduserer defekter.

Forbedret sikkerhet og pålitelighet:

SiCs mekaniske styrke og motstand mot deformasjon under høye temperaturforhold bidrar til sikrere drift og mer pålitelige resultater i krevende diffusjonsmiljøer.

Bærekraft:

Den lange levetiden til SiC-båter reduserer avfall og støtter miljømessig bærekraftig produksjonspraksis.

Applications Beyond Diffusjon

Mens diffusjonsprosesser representerer den primære anvendelsen av SiC-båter, gjør deres robuste egenskaper dem egnet for andre høytemperatur- og kjemisk aggressive prosesser, inkludert:

• Oksidasjon og utglødning i halvlederproduksjon.
• Kjemisk dampavsetning (CVD) prosesser for tynnfilmvekst.
• Høytemperaturprosesser i avansert solcelleproduksjon.

SiC-båter er essensielle komponenter i diffusjonsprosessen, som muliggjør presis og pålitelig produksjon av halvleder- og solcelleenheter. Med sine uovertrufne materialegenskaper, holdbarhet og tilpasningsmuligheter setter disse silisiumkarbidkeramiske waferholderne en ny standard for ytelse i høytemperatur og kjemisk krevende applikasjoner. Semicorex sine SiC-båter er designet for å møte de skiftende behovene til industrien, og gir produsentene verktøyene de trenger for å ligge i forkant i et stadig mer konkurranseutsatt marked.