Sic Cantilever Paddles

Semicorex sic cantilever-padler er komponenter med høy ytelse som er designet nettopp for wafer-håndtering og wafer-transport i halvleder termisk prosessutstyr (LPCVD, PECVD, oksidasjon og diffusjonsovner). Disse utkragene padler gir en plattform for skiver og en nødvendig form for støtte som sikrer stabil og pålitelig transport av sprø skiver gjennom harde høye temperaturprosesser (ofte over 1200 ° C). Cantilever-padlene er produsert av silisiumkarbid med høy renhet (SIC) som gir mekanisk holdbarhet, termisk stabilitet og antikorrosive egenskaper for halvlederproduksjonsmiljøet.

Silisiumkarbid er et super-premium keramisk materiale med utmerket termisk ledningsevne, lav termisk ekspansjon og evnen til å utføre pålitelig i kjemisk fiendtlige miljøer. Silisiumkarbid i utkragede padler kan bidra til å redusere termisk skjeving

 og bevegelse som holder skiver flat og i sin nominelle prosesseringsposisjon. Termisk stabilitet av skiven i sammenheng med utkragingspadler er viktig for å minimere spørsmål om partikkelforurensning og mekanisk bevegelse, spesielt når du produserer avanserte nodeenheter. Disse problemene kan føre til avkastningstap eller kostbar omarbeiding og utskifting av skiver.

Den monolitiske formen av SiC Cantilever -padlene forbedrer mekanisk robusthet og termisk enhetlighet mens de eliminerer ledd og svake punkter som vanligvis kan eksistere i kompositter. Videre er overflatebehandlingen på padlene spesifikt kontrollert, og generelt polert til en nær speilkvalitet for å minimere partikkelformig generasjon og er veldig rentromsklasse-kompatibel.

I diffusjons- og oksidasjonsprosesser som involverer oksygen, damp og andre reaktive gasser; Konvensjonelle materialer kan sammenkoble eller deformere over tid. SICs iboende kjemiske inerte eiendom sikrer at padlene ikke vil overgå, eller korrodere og innføre forurensning til prosessen på grunn av bruk av ustabile materialer, og bidrar til en mer stabil prosess og pålitelige resultater.  Den strukturelle integriteten til Sic Cantilever -padler forblir stabil til tross for rask sykling av oppvarming og kjøling. Derfor tilbyr de lang operasjonell levetid med sterkt redusert vedlikehold eller driftsstans.

I tillegg tillater den reduserte massen og lettvekten til SIC -padler en raskere termisk respons; Dermed tillater det raskere termisk ramping og avkjølingstider som bidrar til økt produktivitet og energieffektivitet, alle viktige beregninger i det konkurrerende landskapet i halvlederproduksjon.

SIC Cantilever -padler kan leveres i en rekke konfigurasjoner og størrelser, designet og produsert for å imøtekomme forskjellige ovndesign og skive størrelser fra 100 mm til 300 mm og større. OEM og utstyrsintegratorer setter pris på konsistensen og påliteligheten til SIC-padlene over tid, for distribusjoner i både front-end og back-end prosesser.

Semicorex tilbyr premium SIC Cantilever -padler med tett kontroll på materialrenhet, mikrostruktur og dimensjonale toleranser. Våre avanserte prosessfunksjoner, kombinert med vår kunnskap om termisk dynamikk for halvleder, lar oss produsere padler med disse attributtene som oppfyller eller overskrider bransjestandarder for stabilitet, renslighet og holdbarhet. Når det må være riktig og pålitelig, er semikorex stedet å gå for SIC -komponenter av høy kvalitet.