Sic keramiske båter

Semikorexsic keramiske båter er avanserte transportører som er spesielt designet for å trygt transportere, lagre og behandle halvlederskiver i de mest krevende kjemisk og termisk ekstreme miljøer. Halvlederindustrien har raskt tatt i bruk nye ytelsesstandarder som har krevd SIC keramiske båter til pålitelig, tillitsfullt og forurensningsfri oppnå de intolerante og kritiske kravene til de moderne fremstillingsprosessene for skive.

Sterk termisk stabilitet og styrke

Det definerende attributtet til SIC keramiske båter er dens veldig høye termiske stabilitet. SIC keramiske båter kan tåle temperatur over 1600 ° C uten å miste formen eller strukturen under aggressive termiske sykkelprosesser. På grunn av den ultra-lave termiske ekspansjonskoeffisienten, er SIC keramiske båter mindre utsatt for forvrengning og sprekker, noe som gir tette toleranser og generell skivesikkerhet under håndtering under stive forhold.

Høy renhet og kjemisk motstand

Sic keramiske båter er produsert av silisiumkarbid med ultrahøy renhet. SIC keramiske båter er også svært resistente mot kjemisk nedbrytning, etsende og eroderende plasma. Den inerte naturen til SIC keramiske båter betyr prosesser med etsende gasser, reaktive miljøer, sure forhold ville ikke danne seg noen forurensning fra båten eller ingenting som er løselig for å skade arbeidsprosessen. Den ikke-forurensende overflaten til SIC keramiske båter muliggjør ingen partikkelgenerering eller ionutvasking, og en skiven overflate blir ikke fare for urenheter som hindrer enhetens ytelse eller utbytte.

Presisjonsteknikk for sikker og sikker skivehåndtering

SIC keramiske båter er produsert i stramme toleranser, slik at de kan håndtere skiver med forskjellige diametre, inkludert 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm og mer. Den strukturelle utformingen av SIC -båter gir utmerket flathet, parallellisme og ensartet sporstørrelse for å opprettholde riktig skive -lappingorientering og beskytte kantene på skiven når du overfører til en annen prosess eller verktøy. Alle SIC -båter kan utformes med tilpassede dimensjoner for å matche verktøysettet eller oppfylle eventuelle automatiseringsspesifikasjoner.

Lang levetid og mer kostnadseffektiv

SIC erstatter tradisjonelle materialer (kvarts, aluminiumoksyd) med betydelig forbedret mekanisk styrke, bruddseighet og termisk sjokkmotstand. Dette holdbarhetsnivået tilsvarer en lengre levetid før "fiasko", betydelig færre erstatninger under drift og lavere totale eierkostnader. Konsistensen i ytelse fra holdbarhet av SIC vil redusere nedetidene og fremskynde gjennomstrømningen på halvlederproduksjonslinjer.

Åpne applikasjoner i halvlederprosesser

Sic keramiske båter er mye brukt i front-end halvlederprosesser som:

LPCVD og PECVD -deponering

Termisk oksidasjon

Ionimplantasjon

Annealing og diffusjon

Rengjøring og kjemisk prosessering

SIC keramiske håndtak har kompatible prosesseringsapplikasjoner i både atmosfære og vakuumprosesskamre, noe som gjør det til et ideelt valg for støperier og fabs som ønsker å minimere og redusere risikoen for forurensning mens du forbedrer produktiviteten.