SiC keramisk utkragende padle

Stor waferlastekraft silisiumkarbid SiC keramisk cantilever padle er egnet for et robot automatisk laste- og håndteringssystem fordi den har stabil ytelse, ikke-deformasjon ved høy temperatur og stor waferlastekraft. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Siden seksjonen av utkragingspadlen er stabil uten deformasjon, er det mulig å lage større skiver ved å bruke eksisterende ovnsrør. SiC keramisk cantilever-padle kan påføres LPCVD på grunnlag av dens lignende termiske ekspansjonskoeffisient med LPCVD-belegg, som i stor grad forlenger vedlikeholds- og rengjøringssyklusen og reduserer forurensninger betydelig.

Vi kan produsere produktet etter dine tegninger og arbeidsmiljø.

Funksjoner:

Stor belastning

Lav varmeledningsevne

Høy temperaturmotstand