SiC Keramisk robotarm

SiC keramikkrobotarmbrukes på tvers av flere produksjonsprosesser for halvlederwafere, og spiller en viktig rolle i å sikre kvaliteten og effektiviteten til waferfabrikasjonen. Det er vanligvis installert i og utenfor kamrene til forskjellig frontend-utstyr for halvledere, for eksempel etsemaskiner, avsetningsutstyr, litografimaskiner, rengjøringsutstyr, og deltar direkte i håndtering og plassering av halvlederskiver. 

Halvlederskiver blir lett forurenset av partikler, så deres relaterte produksjonsprosesser utføres hovedsakelig i rent og vakuum halvlederutstyr. I faktisk drift, som den essensielle komponenten i slikt utstyr, kommer SiC keramisk robotarm i direkte kontakt med halvlederskivene og må også oppfylle ultrahøye krav til renslighet. Semicorex sin SiC keramiske robotarm er laget av høyytelses silisiumkarbidkeramikk etterfulgt av presis overflatebehandling og rengjøringsbehandling, som nøyaktig kan møte de strenge kravene til halvlederproduksjon for renslighet og flathet. Dette bidrar betydelig til å redusere waferdefekter og forbedre waferproduksjonsutbyttet.

SiC keramikkrobotarm er det optimale alternativet for varmebehandlingsprosedyrer som gløding, oksidasjon og diffusjon. På grunn av den eksepsjonelle termiske stabiliteten og overlegne termiske støtmotstanden til silisiumkarbidmaterialer, er SiC keramiske robotarmer i stand til å fungere pålitelig i lengre perioder under høye temperaturer. Den kan motstå påvirkningen av termisk ekspansjon og bevare dens strukturelle integritet under termisk påkjenning, og dermed sikre konsekvent nøyaktighet av waferposisjonering.

Takket være sin robuste motstand mot korrosive gasser og væsker, kan SiC keramisk robotarm stabilt opprettholde ytelsen selv når den utsettes for aggressive korrosive prosessatmosfærer som etsing, tynnfilmavsetning og ioneimplantasjon. Denne korrosjonsmotstandsytelsen forbedrer effektiviteten til produksjon av halvlederskiver ved effektivt å redusere risikoen for korrosjonsrelaterte komponentskader og redusere behovet for hyppige utskiftninger og vedlikehold.