SiC-belagt grafitttønnesusceptor

Hvis du leter etter en høyytelses grafittsusceptor for bruk i halvlederproduksjonsapplikasjoner, er Semicorex SiC Coated Graphite Barrel Susceptor det ideelle valget. Dens eksepsjonelle termiske ledningsevne og varmefordelingsegenskaper gjør den til det beste valget for pålitelig og konsistent ytelse i høye temperaturer og korrosive miljøer.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Semicorex SiC Coated Graphite Barrel Susceptor er det perfekte valget for halvlederproduksjonsapplikasjoner som krever eksepsjonell varmefordeling og termisk ledningsevne. SiC-belegget med høy renhet og overlegen tetthet gir overlegen beskyttelse og varmefordelingsegenskaper, og sikrer pålitelig og konsistent ytelse i selv de mest utfordrende miljøer.

Vår SiC Coated Graphite Barrel Susceptor er designet for å oppnå det beste laminære gassstrømningsmønsteret, og sikrer jevn termisk profil. Dette bidrar til å forhindre forurensning eller diffusjon av urenheter, og sikrer epitaksial vekst av høy kvalitet på waferbrikken.

Kontakt oss i dag for å lære mer om vår SiC Coated Graphite Barrel Susceptor.

Parametre for SiC-belagt grafittfat-susceptor

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg
SiC-CVD-egenskaper
Krystallstruktur	FCC β-fase
Tetthet	g/cm³	3.21
Hardhet	Vickers hardhet	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kjemisk renhet	%	99.99995
Varmekapasitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøy, 1300 ℃)	430
Termisk ekspansjon (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Egenskaper til SiC Coated Graphite Barrel Susceptor

- Både grafittsubstratet og silisiumkarbidlaget har god tetthet og kan spille en god beskyttende rolle i høytemperatur og korrosive arbeidsmiljøer.

- Silisiumkarbidbelagt susceptor som brukes til enkeltkrystallvekst har en meget høy overflateplanhet.

- Reduser forskjellen i termisk ekspansjonskoeffisient mellom grafittsubstratet og silisiumkarbidlaget, forbedrer effektivt bindestyrken for å forhindre sprekkdannelse og delaminering.

- Både grafittsubstratet og silisiumkarbidlaget har høy varmeledningsevne, og utmerkede varmefordelingsegenskaper.

- Høyt smeltepunkt, høy temperatur oksidasjonsmotstand, korrosjonsbestandighet.