SiC-belagt Crystal Growth Susceptor

Med sitt høye smeltepunkt, oksidasjonsmotstand og korrosjonsmotstand er Semicorex SiC-belagt krystallvekstsusceptor det ideelle valget for bruk i enkeltkrystallvekstapplikasjoner. Silisiumkarbidbelegget gir utmerket flathet og varmefordelingsegenskaper, noe som gjør det til et ideelt valg for miljøer med høy temperatur.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Semicorex SiC-belagt Crystal Growth Susceptor er det perfekte valget for epitaksial lagdannelse på halvlederskiver, takket være dens eksepsjonelle termiske ledningsevne og varmefordelingsegenskaper. SiC-belegget med høy renhet gir overlegen beskyttelse i selv de mest krevende høytemperatur- og korrosive miljøer.
Vår SiC-belagte Crystal Growth Susceptor er designet for å oppnå det beste laminære gassstrømningsmønsteret, og sikrer jevn termisk profil. Dette bidrar til å forhindre forurensning eller diffusjon av urenheter, og sikrer epitaksial vekst av høy kvalitet på waferbrikken.
Kontakt oss i dag for å lære mer om vår SiC-belagte krystallvekstsusceptor.

Parametre for SiC-belagt krystallvekstsusceptor

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg
SiC-CVD-egenskaper
Krystallstruktur	FCC β-fase
Tetthet	g/cm³	3.21
Hardhet	Vickers hardhet	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kjemisk renhet	%	99.99995
Varmekapasitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøy, 1300 ℃)	430
Termisk ekspansjon (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Egenskaper av SiC-belagt Crystal Growth Susceptor

- Både grafittsubstratet og silisiumkarbidlaget har god tetthet og kan spille en god beskyttende rolle i høytemperatur og korrosive arbeidsmiljøer.

- Silisiumkarbidbelagt susceptor som brukes til enkeltkrystallvekst har en meget høy overflateplanhet.

- Reduser forskjellen i termisk ekspansjonskoeffisient mellom grafittsubstratet og silisiumkarbidlaget, forbedrer effektivt bindingsstyrken for å forhindre sprekkdannelse og delaminering.

- Både grafittsubstratet og silisiumkarbidlaget har høy varmeledningsevne, og utmerkede varmefordelingsegenskaper.

- Høyt smeltepunkt, høy temperatur oksidasjonsmotstand, korrosjonsbestandighet.