SIC Horisontale ovnsrør

SIC horisontale ovnsrører de uunnværlige bærerne av ovnssystemet, vanligvis plassert i kjernevarmeområdet til halvlederproduksjon eller fotovoltaisk produksjonsutstyr. De jobber sammen med varmeelementene, temperaturkontrollsystemene, gasskontrollsystemene og waferbåtene for å danne det komplette ovnssystemet.

I selve operasjonen blir SIC horisontale ovnsrør oppvarmet av varmeelementene, som jevnt overfører varmen inn i ovnsrørene ved hjelp av den utmerkede termiske ledningsevnen til silisiumkarbidmaterialer. I mellomtiden introduseres spesifikke prosessgasser (som oksygen, nitrogen, dopinggasser osv.) inn i ovnsrøret. Under påvirkning av denne høytemperaturgassatmosfæren vil halvledermaterialer inne i ovnen gjennomgå kjemiske reaksjoner eller fysiske endringer, og til slutt oppnå materialmodifisering, doping eller strukturell optimalisering.

Semicorex sine horisontale SIC-ovnsrør leverer bemerkelsesverdig mekanisk styrke og hardhet, som spiller en betydelig rolle i applikasjoner som involverer håndtering og prosessering av store volum wafer. SIC horisontale ovnsrør er i stand til å gi stabil støtte for wafere i varmebehandlingsprosesser som oksidasjon, diffusjon og gløding, og sikrer at wafene er i riktig posisjon under høytemperaturbehandling og unngår forskyvning eller deformasjon forårsaket av termisk stress.

Semicorex sine SIC horisontale ovnsrør er produsert av høy renhetsilisiumkarbidkeramikkmed ultralavt innhold av urenheter, etterfulgt av avsetning av en CVDsilisiumkarbidbeleggpå overflaten deres. Denne produksjonsmetoden legger til et beskyttende lag til SIC horisontale ovnsrør, som gjør dem i stand til å fungere stabilt i krevende høytemperatur- og korrosive miljøer over tid. Denne korrosjonsmotstandsytelsen til SIC horisontale ovnsrør forbedrer effektiviteten til produksjon av halvlederskiver ved effektivt å redusere risikoen for korrosjonsrelaterte komponentskader og redusere behovet for hyppige utskiftninger og vedlikehold.

Med så mange overlegne egenskaper, er Semicorex sine horisontale SIC-ovnsrør mye brukt i mange høytemperaturbehandlingsprosesser i solcelle- og halvlederindustrien som oksidasjonsprosess, diffusjonsprosess, glødingsprosess og lavtrykkskjemisk dampavsetning.